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作為材料表面分析的重要工具，x射線光電子能譜儀應用廣泛，不僅可以分析材料表面的元素化學信息，還可以進行微區和深度分布等分析。x射線光電子能譜儀的測試量通常較大，因此在使用過程中需要對儀器進行合理維護，使儀器保持良好的工作狀態，延長使用壽命。x射線光電子能譜儀的日常維護可以從真空系統、循環水系統和氣路系統觸發。
真空系統的維護
1.制備樣品時需要保證樣品在超高真空及X光照射條件下不分解，不釋放氣體。
2.樣品在進樣室中應充分抽氣。
3.保持進樣室門的清潔。
4.定期運行鈦升華泵以吸附影響真空的反應氣體。
5.在環境溫濕度高的情況下需要采取降溫和除濕的措施。
循環水系統的維護
1.若冷卻水的漏電流高于10 mA需要更換循環水。
2.經常清洗水冷機的濾網和金屬過濾球，定期清洗儀器機柜可坼卸前面板的散熱器濾網。
3.建議每半年更換一次去離子水或蒸餾水，可以加入約500 mL乙醇以防止藻類植物和微生物的生長。
氣路系統的維護
1.壓縮空氣的壓力需維持0.3~0.7 MPa之間。
2.當壓縮空氣壓力較低時需要及時更換空氣鋼瓶。更換高純氮的氣體鋼瓶時需要用肥皂水檢查氣路接口的氣密性。
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