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日立熒光光譜儀經過優化光路的改善，產品測試通道上增加到了從Cl-U的元素范圍。即可以管控RoHS指令的Pb、Cd、Hg、PBB和PBDE中的Br、六價鉻的Cr，和無鹵指令中的Cl和Br元素。X熒光光譜儀配備進口的探測器，分辨率性能；X光管和電源經銷款型，應對RoHS和無鹵環保指令檢驗*可以滿足。日立熒光光譜儀帶有測試樣品圖片的報告、分級管理員模式、幾秒鐘判定材料是否發生變化等。日立熒光光譜儀軟件自帶的自我管控及超限設置功能，對測試結果自動判定是否在管控范圍。
日立熒光光譜儀射線管的維護
1.避免碰撞
2.不能用手直接觸摸鈹窗，金屬鈹對射線吸收性能很差，但鈹窗很薄很脆，所以要小心維護，一旦鈹窗被塵埃污染，可用軟毛刷小心輕拂；若有油污等污物，可用脫脂棉蘸取有機溶劑如無水乙醇、三氯甲烷等小心輕拭。鈹、氧化鈹有毒，具有鈹的垃圾不能亂扔，破鈹窗要小心處理。
3.射線管的電源為高壓電源，要注意防潮，以免漏電；電纜頭上要抹上耐電壓的絕緣油脂。
4.使用封閉式射線管時，要注意通冷卻水，但存放時一定要把管內的殘留冷卻水排盡，并保持溫度高于-9℃。
5.檢查射線管的老化和注意kV-mA的限制初用管，30天后用管都要繪制kV-時間曲線，檢查管子是否老化；繪制kV-mA曲線，檢查管子kV與mA的關系，找到zui大值，以便進行kV-mA限制。
二、日立熒光光譜儀分光晶體的維護與修復
1.恒溫分光晶體對溫度的變化較敏感，不同環境溫度下，晶體面間距值的變化會引起譜線的位移，在實際工作中，要求晶體室溫的變化在±0.5℃內。
2.防潮分光晶體很脆，金屬鹽類的晶體如NaCl、LiF，都具有潮解性，不用時應存放在干燥器中；常用的分光晶體也要定期檢查，TAP晶體的表面容易產生“白濁”，這時不能使用了。
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