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掃描隧道顯微鏡(STM)是一種掃描探針顯微術工具，它可以讓科學家觀察和定位單個原子，具有比它的同類原子力顯微鏡更加高的分辨率。此外，儀器還可以在低溫下(4K)可以利用探針尖精確操縱原子，因此它在納米科技既是重要的測量工具又是加工工具。
STM的原理時當原子尺度的針尖在不到一個納米的高度上掃描樣品時，此處電子云重疊，外加一電壓(2mV~2V)，針尖與樣品之間產生隧道效應而有電子逸出，形成隧道電流。電流強度和針尖與樣品間的距離有函數關系，當探針沿物質表面按給定高度掃描時，因樣品表面原子凹凸不平，使探針與物質表面間的距離不斷發生改變，從而引起電流不斷發生改變。將電流的這種改變圖像化即可顯示出原子水平的凹凸形態。
儀器的工作模式有恒電流模式和恒高度模式兩種。
1、恒電流模式：當原子尺度的針尖在不到一個納米的高度上掃描樣品時，此處電子云重疊，外加一電壓(2mV~2V)，針尖與樣品之間產生隧道效應而有電子逸出，形成隧道電流。電流強度和針尖與樣品間的距離有函數關系，當探針沿物質表面按給定高度掃描時，因樣品表面原子凹凸不平，使探針與物質表面間的距離不斷發生改變，從而引起電流不斷發生改變。將電流的這種改變圖像化即可顯示出原子水平的凹凸形態。
2、橫高度模式：當原子尺度的針尖在不到一個納米的高度上掃描樣品時，此處電子云重疊，外加一電壓(2mV~2V)，針尖與樣品之間產生隧道效應而有電子逸出，形成隧道電流。電流強度和針尖與樣品間的距離有函數關系，當探針沿物質表面按給定高度掃描時，因樣品表面原子凹凸不平，使探針與物質表面間的距離不斷發生改變，從而引起電流不斷發生改變。將電流的這種改變圖像化即可顯示出原子水平的凹凸形態。
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