6’’/8’’/12’’Wafer Review System/Verify Rework Station

應用特點：
針對6’’/8’’/12’’晶圓搬送及檢查，整合電動臺，自動OCR，Wafer Alignment，配合的wafer mapping系統。可以讀取上一站的wafer mapping，實現review，bincode編輯等，并可以繼續上載mapping，供下一站適用。

可配備多可Load Port, 實現Wafer Sorter功能。

設備優勢：
•配備1或2套3軸機械手臂
•奧林巴斯MX63顯微鏡
•300mm X 300mm 電動平臺
•Z自動聚焦
•自動wafer Alignment
•OCR Wafer ID 讀取
•可編輯的wafer map，適用多種SEMI標準格式
•Bincode的生成和配置
•SECS/GEM 連線
•Class 1凈化等級