認識Sensofar

西班牙SENSOFAR公司專業從事研發、設計和制造光學表面量測設備。從1999年成立至今裝機超過900臺。SENSOFAR開創性地將共聚焦和干涉技術結合在一起，設計和制造了NEOX系列的3D光學輪廓儀，它是獲得歐洲設計金獎的產品。

其中最S ONIX具有以下一些特點：

一、           S onix是一套高速工業檢測系統，可以完成大批量產品的快速檢測。高速攝像頭、的光學和機械設計讓它比現有干涉系統的測量速度提高了7倍。另外增加改進后的防震阻力設計讓設備在垂直分辨率方面有著更優異。

二、           S Onix擁有小巧的體積（150mm * 82mm * 281mm），輕巧的質量（3.6kg），卻擁有2nm的高縱向分辨率，225μm/s的超高縱向掃描速度，僅僅需要普通相機拍攝一張照片的時間就可以將表面三維形貌抓取出來，并進行粗糙度和高度的量測，同時配備綠光和白光雙LED，兩種算法可分別實現速度優先和分辨率優先，根據樣品需求，提供測量方案。

三、           智能編程，自動走位測量

高速掃描頭配置有150mm*150mm或300mm*300mm電動掃描平臺時，軟件配置的智能編程功能，用戶可以很簡單的實現定位精確測量或大批重復測量。軟件還可設置使用權限。

四、           自動形貌拼接、圖像預覽導航等豐富功能幫助客戶一臺設備完成多種應用需求。

五、           定制軟件

SensoPro作為一款定制軟件，針對工廠設計，既可以避免人為測量誤差，又可以批量高速測量。

使用SensoPro軟件可以在預先設置好要測量和輸出的數據的前提下，可以在掃描好樣品表面形貌的同時，測量出全部待測樣品的數據。不但可以排除人為測量誤差，還具備人為測量不具備的高效率。

二、設備主要用途

Sensofar 表面輪廓儀S Onix可以通過白光干涉技術對表面進行3D合成，除表面極粗糙和極光滑的表面適用于大部分粗糙度表面樣品的三維量測。

廣泛應用于能源、LCD、微電子、精密加工、光學器件、半導體元件、鐘表、汽車、電子消費品等領域。

三、技術指標

設備名稱：表面3D輪廓儀

規格型號:S Onix

一、硬件部分

1.1 光源及壽命

長壽命高亮度2色LED（綠 560nm，白550nm) 50000小時以上

1.2 相機及成像

680*480pixel高速相機

1.3   XY分辨率

0.25µm（100倍干涉物鏡）

1.4 掃描模式

干涉物鏡：白光干涉（CSI）

膜厚測量模式：可以測量大于1.5μm透明膜厚度

1.5   物鏡轉換器及物鏡

1.5.1 單物鏡或選配六孔物鏡轉換器

1.5.2 物鏡參數

1.6 視野范圍

126-5040µm（根據物鏡）

1.7 樣品側面觀察能力

42度

1.8 電動載物臺

可傾斜，行程不小于150 mm **150mm，或者300 mm *300 mm

1.9內置專業避震裝置

有

1.10 支持樣品高度

40mm（可根據樣品更換80mm）

1.11 放大倍數

100-20000

1.12 Z軸精度及線性度

   高精度Z軸掃描模塊，行程40mm

1.13防震機制

  大臺面高級防震桌

二、軟件部分

2.1粗糙度測量部分

2.1.1 同時具備線粗糙度和面粗糙度測量的能力

2.1.2 粗糙度標準

ISO25178 國際標準

2.2 觀察輔助

干涉圖像

2.3 拼圖功能

有，拼接范圍為電動平臺移動行程

2.4 具備免費離線軟件與共享功能

2.5 自動操作記憶功能

可存儲測量參數，自動編程實現多點測量。如選配批量分析軟件，可自動分析結果給出報告

2.6 工作站

新型工作站配置WINDOWS10   64位專業版操作系統，2560 x 1440分辨顯示器

2.7 操作軟件支持的語言

中文、英文

2.8   窗口設計

按鍵式，可保存及調用參數

2.9 支持的掃描模式

白光干涉、膜厚模式等

三、測量性能與追溯性

3.1   XY分辨力

分辨能力不低于0.24微米

3.2 測量顯示分辨率

0.01nm

3.3   Z軸測量分辨率

CSI模式下2nm

3.4   Z軸測量準確度

臺階高度精度0.5%

3.5   Z軸測量重復性

臺階高度重復性0.1%