激光干涉儀以光波為載體，其光波波長(zhǎng)可以直接對(duì)米進(jìn)行定義，且可以溯源至國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)，是迄今的高精度、高靈敏度的測(cè)量?jī)x器，在制造領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。
SJ6000激光干涉儀集光、機(jī)、電、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體，產(chǎn)品采用進(jìn)口高性能氦氖激光器，其壽命可達(dá)50000小時(shí)；采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)高精度、抗干擾能力強(qiáng)、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出；采用高速干涉信號(hào)采集、調(diào)理及細(xì)分技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)4m/s的測(cè)量速度，以及納米級(jí)的分辨率；采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊，可實(shí)現(xiàn)激光波長(zhǎng)和材料的自動(dòng)補(bǔ)償；采用高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)及軟件技術(shù)，支持中文、英文和俄文語(yǔ)言，友好的人機(jī)界面、向?qū)降牟僮髁鞒獭⒑?jiǎn)潔化的記錄管理。
SJ6000激光干涉儀具有測(cè)量精度高、測(cè)量范圍大、測(cè)量速度快、測(cè)速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn)，結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現(xiàn)線性測(cè)長(zhǎng)、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量。在SJ6000激光干涉儀動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件配合下，可實(shí)現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動(dòng)態(tài)測(cè)量與性能檢測(cè)，以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析，如振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。
窗體底端
一． 產(chǎn)品配置
SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件，可根據(jù)具體測(cè)量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列，依次為
線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái)。
▲
主要鏡組圖其中，
線性鏡組為標(biāo)配，由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成。可滿足線性位移設(shè)備的定位精度、重復(fù)定位精度、反向間隙的測(cè)量與分析，以及反向間隙修正和螺距補(bǔ)償。
其中，
線性鏡組為標(biāo)配，由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成。可滿足線性位移設(shè)備的定位精度、重復(fù)定位精度、反向間隙的測(cè)量與分析，以及反向間隙修正和螺距補(bǔ)償。
1. 靜態(tài)測(cè)量
1.1. 線性測(cè)量
線性測(cè)量原理 —— 邁克爾遜干涉原理
▲ 線性測(cè)量的光路原理構(gòu)建圖
(1) 從SJ6000激光干涉儀主機(jī)出射的激光束（圓偏振光）通過(guò)分光鏡后，將分成兩束激光（線偏振光）；
(2) 兩束激光分別經(jīng)由角錐反射鏡A和角錐反射鏡B反射后平行于出射光（紅色線條）返回，通過(guò)分光鏡后進(jìn)行疊加，由于兩束激光頻率相同、振動(dòng)方向相同且相位差恒定，即滿足干涉條件；
(3) 角錐反射鏡B每移動(dòng)半個(gè)激光波長(zhǎng)的距離，將會(huì)產(chǎn)生一次完整的明暗干涉現(xiàn)象。測(cè)量距離等于干涉條紋數(shù)乘以激光半波長(zhǎng)。
線性測(cè)量配置及使用方法線性測(cè)量（線性軸位置精度測(cè)量的簡(jiǎn)稱）配置主要由
SJ6000主機(jī)、EC20環(huán)境補(bǔ)償單元、線性鏡組、SJ6000靜態(tài)測(cè)量軟件等組件構(gòu)成，可滿足0~80m范圍內(nèi)的線性測(cè)量。其中，線性測(cè)量包括定位精度測(cè)量、重復(fù)定位精度測(cè)量和設(shè)備反向間隙測(cè)量等。
線性鏡組可以針對(duì)不同方向的運(yùn)動(dòng)軸而搭建相應(yīng)的測(cè)量光路，如下圖：
▲ 水平軸的線性測(cè)量示意圖
▲ 垂直軸的線性測(cè)量示意圖
SJ6000靜態(tài)測(cè)量軟件可以將線性測(cè)量結(jié)果生成的誤差補(bǔ)償表，該表涵蓋了各個(gè)測(cè)量點(diǎn)的補(bǔ)償值，運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)制造商允許通過(guò)修改運(yùn)動(dòng)軸的補(bǔ)償值來(lái)消除該運(yùn)動(dòng)軸的位置誤差，精確的補(bǔ)償，可以有效地降低運(yùn)動(dòng)軸的位置誤差。
線性測(cè)量中目標(biāo)位置的數(shù)據(jù)采集有基于位置的目標(biāo)采集和基于時(shí)間的目標(biāo)采集兩種方式，普遍采用基于位置的目標(biāo)采集方式，即：被測(cè)運(yùn)動(dòng)軸需設(shè)定若干個(gè)等距的定位點(diǎn)，當(dāng)運(yùn)動(dòng)軸移動(dòng)到設(shè)定的定位點(diǎn)時(shí)，需設(shè)置停留時(shí)間，以供SJ6000測(cè)量軟件進(jìn)行當(dāng)前點(diǎn)的數(shù)據(jù)采集。
線性測(cè)量應(yīng)用SJ6000激光干涉儀廣泛應(yīng)用于
機(jī)床、三坐標(biāo)、機(jī)器人、3D打印設(shè)備、自動(dòng)化設(shè)備、線性位移平臺(tái)、精密機(jī)械設(shè)備、精密檢測(cè)儀器等領(lǐng)域的線性測(cè)量。
▲ 機(jī)床 | 
▲ 線性導(dǎo)軌 |
▲ 三坐標(biāo) | 
▲ 激光切割機(jī) |
線性測(cè)量附件n
輕型線性鏡組 —— 特殊場(chǎng)合的應(yīng)用輕型線性鏡組包括縮光鏡和小角錐反射鏡，其中小角錐反射鏡的重量?jī)H為8g，可以直接吸附在被測(cè)物體上，限度地降低線性反射鏡的重量影響。
▲ 輕型線性鏡組的光路原理構(gòu)建圖
主要應(yīng)用場(chǎng)合：
(1) 線性反射鏡的重量可能影響到被測(cè)軸系的機(jī)械性能或精度；
(2) 線性反射鏡的尺寸遇到較為困難的裝夾場(chǎng)合；
(3) 負(fù)載敏感的動(dòng)態(tài)測(cè)量。 | 
▲ 輕型線性鏡組 |
輕型線性鏡組附件應(yīng)用實(shí)例： 
▲ 螺紋綜合測(cè)量機(jī)的測(cè)桿校準(zhǔn)
n
可調(diào)轉(zhuǎn)向鏡 —— 斜軸的測(cè)量可調(diào)轉(zhuǎn)向鏡本質(zhì)是可實(shí)現(xiàn)旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)的平面反射鏡，通過(guò)旋轉(zhuǎn)鏡面可將光束偏轉(zhuǎn)25°~90°的角度，通常用于斜軸的測(cè)量。
▲ 可調(diào)轉(zhuǎn)向鏡及其光路原理構(gòu)建圖
可調(diào)轉(zhuǎn)向鏡應(yīng)用實(shí)例：
▲ 斜床的傾斜軸測(cè)量
1.2. 角度測(cè)量
角度測(cè)量原理角度反射鏡旋轉(zhuǎn)時(shí)產(chǎn)生轉(zhuǎn)角，或是移動(dòng)過(guò)程中產(chǎn)生角擺，兩束反射光會(huì)有相對(duì)應(yīng)的光程差產(chǎn)生，SJ6000采集到該光程差的干涉信號(hào)，經(jīng)過(guò)運(yùn)算處理，即可得出對(duì)應(yīng)的角度值。
▲ 角度測(cè)量的光路原理構(gòu)建圖
角度測(cè)量配置及使用方法角度測(cè)量配置主要由
SJ6000主機(jī)、角度鏡組、SJ6000靜態(tài)測(cè)量軟件等組件構(gòu)成，可滿足±10°范圍內(nèi)的角度測(cè)量。
▲ 運(yùn)動(dòng)軸的俯仰角度測(cè)量示意圖
▲ 運(yùn)動(dòng)軸的偏擺角度測(cè)量示意圖
▲ 回轉(zhuǎn)軸的角度測(cè)量示意圖
角度測(cè)量應(yīng)用 主要應(yīng)用于運(yùn)動(dòng)軸的
角擺測(cè)量和轉(zhuǎn)軸的
旋轉(zhuǎn)角度測(cè)量。
▲ 直驅(qū)電機(jī)（DD馬達(dá)）的旋轉(zhuǎn)角度測(cè)量
1.3. 直線度測(cè)量
直線度測(cè)量原理
▲ 直線度測(cè)量的光路原理構(gòu)建圖
直線度干涉鏡在移動(dòng)過(guò)程中產(chǎn)生橫向或縱向位移時(shí)，兩束反射光會(huì)有相對(duì)應(yīng)的光程差產(chǎn)生，SJ6000采集到該光程差的干涉信號(hào)，經(jīng)過(guò)運(yùn)算處理，即可得出對(duì)應(yīng)的直線度值。
直線度測(cè)量配置及使用方法直線度測(cè)量配置主要由
SJ6000主機(jī)、短直線度鏡組（或長(zhǎng)直線度鏡組）、SJ6000靜態(tài)測(cè)量軟件等組件構(gòu)成，可滿足±3mm范圍內(nèi)的直線度測(cè)量。
▲ 運(yùn)動(dòng)軸的橫向直線度測(cè)量示意圖
▲ 運(yùn)動(dòng)軸的縱向直線度測(cè)量示意圖
直線度測(cè)量應(yīng)用
▲ 測(cè)長(zhǎng)儀直線導(dǎo)軌的橫向直線度測(cè)量
直線度附件 直線度附件由大角錐反射鏡、90度轉(zhuǎn)向鏡和直線度底座構(gòu)成。
應(yīng)用場(chǎng)合：
適用于直線度反射鏡不便于安裝在Z軸的上端或是運(yùn)動(dòng)軸的后端。 | 
▲ 直線度附件 |
含直線度附件的光路原理構(gòu)建圖： ▲ Z軸直線度的光路原理構(gòu)建圖
1.4. 平行度測(cè)量
平行度測(cè)量原理平行度測(cè)量是在直線度測(cè)量的基礎(chǔ)上而擴(kuò)展的應(yīng)用。平行度測(cè)量由平行軸的兩組直線度測(cè)量組成，參見(jiàn)下面平行度測(cè)量光路原理構(gòu)件圖，其中直線度反射鏡作為共同的參考基準(zhǔn)，在測(cè)量過(guò)程中保持原位，且不進(jìn)行調(diào)整。由第1運(yùn)動(dòng)軸的斜度θ1中減去第2運(yùn)動(dòng)軸的斜度θ2，即可得出平行度＝θ1－θ2。
步（測(cè)第1運(yùn)動(dòng)軸）
 | 第二步（測(cè)第2運(yùn)動(dòng)軸）
 |
▲ 平行度測(cè)量的光路原理構(gòu)建圖
平行度測(cè)量配置平行度測(cè)量配置主要由
SJ6000主機(jī)、短直線度鏡組（或長(zhǎng)直線度鏡組）、SJ6000靜態(tài)測(cè)量軟件等組件構(gòu)成。Z軸的平行度測(cè)量需增添
可調(diào)轉(zhuǎn)向鏡。
平行度測(cè)量應(yīng)用
▲ 雙直線導(dǎo)軌安裝的平行度測(cè)量
1.5. 垂直度測(cè)量
垂直度測(cè)量原理垂直度的測(cè)量是直線度測(cè)量在二維方向上的延伸。垂直度測(cè)量由正交軸的兩組直線度測(cè)量組成，詳見(jiàn)下面垂直度測(cè)量光路原理構(gòu)件圖，其中直線度反射鏡作為共同的參考基準(zhǔn)，在測(cè)量過(guò)程中保持原位，且不進(jìn)行調(diào)整；光學(xué)角尺用于至少在其中一次直線度測(cè)量中，允許調(diào)整激光束與軸的準(zhǔn)直。垂直度誤差＝光學(xué)直角尺誤差－斜度θ1－斜度θ2。
▲ 垂直度測(cè)量的光路原理構(gòu)建圖
垂直度測(cè)量配置垂直度測(cè)量配置主要由
SJ6000主機(jī)、短直線度鏡組（或長(zhǎng)直線度鏡組）、垂直度鏡組（含光學(xué)直角尺）、SJ6000靜態(tài)測(cè)量軟件等組件構(gòu)成。Z軸的垂直度測(cè)量需增添
直線度附件。
垂直度測(cè)量應(yīng)用
▲ XY工作臺(tái)的垂直度測(cè)量
1.6. 平面度測(cè)量
平面度測(cè)量原理 | 平面度的測(cè)量是在角度測(cè)量的基礎(chǔ)上進(jìn)行的延伸。平面度測(cè)量一般采用“對(duì)角法”在平面上進(jìn)行相應(yīng)次數(shù)的角度測(cè)量，通過(guò)軟件算法可將角度的變化轉(zhuǎn)換為平面上高度的變化，進(jìn)而得到整個(gè)平面的平面度。 | 
▲ 平面度測(cè)量的光路原理構(gòu)建圖 |
對(duì)角線法又稱米字法，在平面度測(cè)量時(shí)，若激光干涉儀主機(jī)位于G點(diǎn)，激光束與線GE重合，建議按照EA、CA、DH、EG、AG、BF、CE、GC的次序進(jìn)行測(cè)量。
▲ 對(duì)角法測(cè)量示意圖
▲ 平面度測(cè)量的過(guò)程示意圖
平面度測(cè)量配置平面度測(cè)量配置主要由
SJ6000主機(jī)、角度鏡組、平面度鏡組、SJ6000靜態(tài)測(cè)量軟件等組件構(gòu)成。其中，平面度鏡組由180mm可調(diào)基板、360mm可調(diào)基板和平面度旋轉(zhuǎn)鏡構(gòu)成。
平面度測(cè)量應(yīng)用
▲ 大理石平臺(tái)的平面度測(cè)量
1.7. 回轉(zhuǎn)軸測(cè)量
回轉(zhuǎn)軸測(cè)量原理 回轉(zhuǎn)軸測(cè)量需借助WR50自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái)，與SJ6000角度測(cè)量配合使用。將WR50連接到回轉(zhuǎn)軸上，作為測(cè)角標(biāo)準(zhǔn)器，WR50可實(shí)現(xiàn)0~360°的角度測(cè)量范圍，±1″的測(cè)量精度，轉(zhuǎn)速為10rpm。
假設(shè)回轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)了5°，相連的WR50則反轉(zhuǎn)5°，相對(duì)于SJ6000角度測(cè)量而言并未產(chǎn)生角度偏轉(zhuǎn)，基于該原理即可實(shí)現(xiàn)回轉(zhuǎn)軸0~360°的高精度測(cè)量。
回轉(zhuǎn)軸測(cè)量軟件會(huì)將WR50的角度值和SJ6000角度值合并進(jìn)行計(jì)算，作為回轉(zhuǎn)軸實(shí)際轉(zhuǎn)動(dòng)的角度值。 | 
▲ 自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái) |
回轉(zhuǎn)軸測(cè)量配置及使用方法回轉(zhuǎn)軸測(cè)量配置主要由
SJ6000主機(jī)、角度鏡組、WR50自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái)、SJ6000靜態(tài)測(cè)量軟件等組件構(gòu)成。
▲ 回轉(zhuǎn)軸測(cè)量示意圖
2. 動(dòng)態(tài)測(cè)量
2.1. 動(dòng)態(tài)測(cè)量概述
SJ6000動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件搭配線性鏡組、角度鏡組或直線度鏡組可以進(jìn)行相應(yīng)的線性、角度或直線度的動(dòng)態(tài)測(cè)量與性能檢測(cè)。
動(dòng)態(tài)測(cè)量包括基于時(shí)間的動(dòng)態(tài)測(cè)量和基于距離的動(dòng)態(tài)測(cè)量，SJ6000動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件可對(duì)動(dòng)態(tài)測(cè)量數(shù)據(jù)進(jìn)行位移分析、速度分析、加速度分析、振幅與頻率分析等。
▲ 位移-時(shí)間曲線
▲ 速度-時(shí)間曲線
▲ 加速度-時(shí)間曲線
▲ 振幅-頻率曲線
2.2. 動(dòng)態(tài)測(cè)量應(yīng)用
基于時(shí)間的動(dòng)態(tài)測(cè)量機(jī)器運(yùn)動(dòng)控制性能評(píng)價(jià)：n 運(yùn)動(dòng)控制器PID控制參數(shù)測(cè)試與設(shè)置
n 高速運(yùn)動(dòng)后機(jī)器的穩(wěn)定性測(cè)試與評(píng)價(jià)
n 高性能運(yùn)動(dòng)控制器的微小步幅的測(cè)試
振動(dòng)監(jiān)視n 掃描應(yīng)用：用于定位精度不重要，但恒速對(duì)實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量成像非常關(guān)鍵的場(chǎng)合
n 機(jī)床應(yīng)用：典型應(yīng)用包括要求刀具慢速、平穩(wěn)輪廓運(yùn)動(dòng)的高質(zhì)量表面精加工
振動(dòng)頻率分析n 被測(cè)對(duì)象的振動(dòng)頻率分析
n FFT快速傅立葉變換分析
基于距離的動(dòng)態(tài)測(cè)量基于距離的動(dòng)態(tài)測(cè)量，SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)將沿著軸線“飛行”測(cè)量，即運(yùn)動(dòng)軸在不停頓的情況下以用戶的間隔進(jìn)行數(shù)據(jù)采集。
提供脈沖觸發(fā)方式采集CT70正交觸發(fā)盒可監(jiān)控光柵、編碼器、控制器等信號(hào)，配合SJ6000激光干涉儀，可實(shí)現(xiàn)脈沖觸發(fā)啟動(dòng)采集和連續(xù)脈沖觸發(fā)采集。適用于運(yùn)動(dòng)軸在不停頓的情況下，觸發(fā)激光干涉儀按照的間隔位置進(jìn)行數(shù)據(jù)采集。
▲ CT70正交觸發(fā)盒
二. 產(chǎn)品功能特點(diǎn)
精度高SJ6000激光干涉儀以干涉技術(shù)為核心，其光波可直接對(duì)米進(jìn)行定義。采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)高精度、抗干擾能力強(qiáng)、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出；采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊，可實(shí)現(xiàn)激光波長(zhǎng)和材料的自動(dòng)補(bǔ)償；干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計(jì)，避免干涉鏡受熱影響，保證干涉光路穩(wěn)定可靠。
功能廣n 可實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測(cè)量；
n 可檢測(cè)數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等，以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；
n 可實(shí)現(xiàn)對(duì)機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測(cè)量與校準(zhǔn)；
n 可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù)；
n 具有動(dòng)態(tài)測(cè)量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進(jìn)行振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等；
n 支持手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。
軟件強(qiáng)n 友好的人機(jī)界面；
n 豐富的應(yīng)用功能模塊；
n 向?qū)降牟僮髁鞒蹋?br>n 簡(jiǎn)潔化的記錄管理；
n 支持中文、英文和俄文界面；
n 支持企業(yè)專屬模板定制。
標(biāo)準(zhǔn)多內(nèi)置13份標(biāo)準(zhǔn)，包含GB、ISO、英標(biāo)、美標(biāo)、德標(biāo)、日標(biāo)等國(guó)內(nèi)外通用標(biāo)準(zhǔn)。可依據(jù)各種不同的機(jī)床標(biāo)準(zhǔn)分析處理數(shù)據(jù)，并可打印相應(yīng)的曲線圖和數(shù)據(jù)報(bào)告。
| 序號(hào) | 標(biāo)準(zhǔn)號(hào) | 標(biāo)準(zhǔn)名稱 |
| 1 | GB/T 17421.2-2000 | 中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn) |
| 2 | GB 10931-1989 | 中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn) |
| 3 | ISO 230-2-1997 | 1997版國(guó)際標(biāo)準(zhǔn) |
| 4 | ISO 230-2-2006 | 2006版國(guó)際標(biāo)準(zhǔn) |
| 5 | ISO 230-2-2014 | 2014版國(guó)際標(biāo)準(zhǔn) |
| 6 | ASME B5.54-2005 | 美國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn) |
| 7 | ASME B89.1.12M-1990 | 美國(guó)機(jī)械工程師協(xié)會(huì)標(biāo)準(zhǔn) |
| 8 | NMTBA-1997 | 美國(guó)機(jī)床協(xié)會(huì)標(biāo)準(zhǔn) |
| 9 | BS 3800-2-1991 | 英國(guó)機(jī)床標(biāo)準(zhǔn) |
| 10 | BS 4656-16-1985 | 英國(guó)機(jī)床標(biāo)準(zhǔn) |
| 11 | JIS B6330 | 日本國(guó)家標(biāo)準(zhǔn) |
| 12 | VDI 3441 | 德國(guó)機(jī)床標(biāo)準(zhǔn) |
| 13 | JJG 117-2005 | 平板檢定規(guī)程 |
三． 技術(shù)指標(biāo)
主機(jī)穩(wěn)頻精度：0.05ppm
動(dòng)態(tài)采集頻率：50 kHz
預(yù)熱時(shí)間：≤ 6分鐘
工作溫度范圍：(0~40)℃
存儲(chǔ)溫度范圍：(-20~70)℃
環(huán)境濕度：(0~95)%RH
環(huán)境補(bǔ)償單元空氣溫度傳感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃
材料溫度傳感器：±0.1℃ (0~55)℃，分辨力0.01℃
空氣濕度傳感器：±5%RH (0~95)%RH
大氣壓力傳感器：±0.1kPa (65~115)kPa
線性測(cè)量測(cè)量距離：(0~80)m (無(wú)需遠(yuǎn)距離線性附件)
測(cè)量精度：0.5ppm (0~40)℃
測(cè)量分辨力：1nm
測(cè)量速度：4m/s
角度測(cè)量軸向量程：(0~15)m
測(cè)量范圍：±10°
測(cè)量精度：±(0.02%R+0.1+0.024M)″ (R為顯示值，單位：″；M為測(cè)量距離，單位：m)
測(cè)量分辨力：0.1″
平面度測(cè)量軸向量程：(0~15)m
測(cè)量范圍：±1.5mm
測(cè)量精度：±(0.2%R+0.02M
2)μm (R為顯示值，單位：μm；M為測(cè)量距離，單位：m)
基板尺寸：180mm可調(diào)，360mm可調(diào)
測(cè)量分辨力：0.1μm
直線度測(cè)量 | | 軸向量程 | 測(cè)量范圍 | 測(cè)量精度 | 分辨力 |
| 短距離 | (0.1~4.0)m | ±3mm | ±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm | 0.01μm |
| 長(zhǎng)距離 | (1.0~20.0)m | ±3mm | ±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm | 0.1μm |
| 注：R為顯示值，單位：μm；M為測(cè)量距離，單位：m |
垂直度測(cè)量 | | 軸向量程 | 測(cè)量范圍 | 測(cè)量精度 | 分辨力 |
| 短距離 | (0.1～3.0)m | ±3/M mm/m | ±(2.5+0.25%R+0.8M) μm/m | 0.01μm/m |
| 長(zhǎng)距離 | (1.0～15.0)m | ±3/M mm/m | ±(2.5+2.5%R+0.08M) μm/m | 0.01μm/m |
| 注：R為垂直度結(jié)果；M為測(cè)量距離，單位：m |
自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái)型號(hào)：WR50
角度測(cè)量范圍：(0~360)°
測(cè)量精度：±1″
分辨力：0.1″
轉(zhuǎn)速：10rpm
跟蹤速度：2rpm
重量：1.9kg
高度：148mm
直徑：112mm
通信方式：藍(lán)牙傳輸
供電方式：鋰電池
正交觸發(fā)盒信號(hào)輸入：差分TTL(RS422)正交編碼信號(hào)、10μApp微電流信號(hào)
輸出形式：10μs脈沖
觸發(fā)延時(shí)：0.1μs
供電電源：12VDC
尺寸重量與供電便攜箱尺寸：613mm×460mm×230mm
標(biāo)準(zhǔn)配置重量：18kg
供電電源：(100~240)VAC
安全要求激光的安全等級(jí)達(dá)到Class I要求
四． 配置與證書(shū)
配置
| 序號(hào) | 名稱 | 明細(xì) | 備注 |
| 1 | SJ6000主機(jī) | 1臺(tái)，配云臺(tái)、電源適配器 | 標(biāo)配 |
| 2 | 通用三腳架 | 1個(gè)，配便攜包 |
| 3 | 筆記本電腦 | 1臺(tái)，配測(cè)量軟件 |
| 4 | 環(huán)境補(bǔ)償單元 | 環(huán)境補(bǔ)償主機(jī)：1個(gè)，內(nèi)置空氣濕度和大氣壓力傳感器 |
| 空氣溫度探頭：1個(gè)，線長(zhǎng)5米 |
| 材料溫度探頭：3個(gè)，線長(zhǎng)5米 |
| 5 | 標(biāo)配附件 | USB線：2根 |
| 磁性表座：2個(gè) |
| 安裝柱：4節(jié) |
| 輔助安裝塊：1塊 |
| 水平儀：1個(gè) |
| 6 | 線性鏡組 | 線性干涉鏡、線性反射鏡，各1個(gè)，夾緊孔座2個(gè) |
| 7 | 便攜式拉桿箱 | 1個(gè)，外尺寸：613mm×460mm×230mm |
| 8 | 線性附件 | 三坐標(biāo)測(cè)頭夾具：1套 | 選配 |
| 9 | 輕型線性鏡組：小角錐反射鏡、縮光鏡，各1個(gè) | 選配 |
| 10 | 可調(diào)轉(zhuǎn)向鏡：1個(gè) | 選配 |
| 11 | 角度鏡組 | 角度干涉鏡、角度反射鏡，各1個(gè) | 選配 |
| 12 | 平面度鏡組 | 180mm、360mm可調(diào)基板，各1個(gè)，平面度旋轉(zhuǎn)鏡2個(gè) | 選配 |
| 13 | 短直線度鏡組 | 短距離直線度干涉鏡、短距離直線度反射鏡，各1個(gè) | 選配 |
| 14 | 長(zhǎng)直線度鏡組 | 長(zhǎng)距離直線度干涉鏡、長(zhǎng)距離直線度反射鏡，各1個(gè) | 選配 |
| 15 | 直線度附件 | 大角錐反射鏡、90度轉(zhuǎn)向鏡、直線度底座、M8接頭，各1個(gè) | 選配 |
| 16 | 垂直度鏡組 | 光學(xué)直角尺、90°轉(zhuǎn)向鏡輔助安裝塊，各1個(gè) | 選配 |
| 17 | 自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái) | 1臺(tái)，配卡盤(pán)、USB數(shù)據(jù)線、USB電源適配器、藍(lán)牙工具 | 選配 |
| 18 | 正交觸發(fā)盒 | 1臺(tái)，配電源適配器、觸發(fā)數(shù)據(jù)線 | 選配 |
| 19 | 工作服 | 夏、冬實(shí)驗(yàn)室工作服，各1件 | 選配 |
注意事項(xiàng)：n 平面度測(cè)量配置需求：平面度鏡組＋角度鏡組
n 平行度測(cè)量配置需求：依據(jù)軸向量程范圍，選擇相應(yīng)直線度鏡組即可
n 短垂直度測(cè)量(0.1~3.0)m配置需求：短直線度鏡組＋垂直度鏡組
n 長(zhǎng)垂直度測(cè)量(1.0~20.0)m配置需求：長(zhǎng)直線度鏡組＋垂直度鏡組
n 直線度附件：主要應(yīng)用于Z軸的直線度測(cè)量和垂直度測(cè)量
證書(shū) | 序號(hào) | 名稱 | 明細(xì) | 備注 |
| 1 | 產(chǎn)品使用說(shuō)明書(shū) | 1份 | 標(biāo)配 |
| 2 | 產(chǎn)品合格證、保修卡 | 1份 |
| 3 | 激光頻率校準(zhǔn)證書(shū) | 由深圳市計(jì)量質(zhì)量檢測(cè)研究院出具
由中國(guó)出具：交貨期需延長(zhǎng)1個(gè)月
由其它機(jī)構(gòu)出具 | 選配 |
| 4 | 環(huán)境補(bǔ)償單元校準(zhǔn)證書(shū) | 選配 |
| 5 | 線性測(cè)長(zhǎng)校準(zhǔn)證書(shū) | 由中國(guó)出具：交貨期需延長(zhǎng)1個(gè)月
由其它機(jī)構(gòu)出具 | 選配 |
| 6 | 角度校準(zhǔn)證書(shū) | 選配 |
| 7 | 直線度校準(zhǔn)證書(shū) | 選配 |
| 8 | 光學(xué)直角尺校準(zhǔn)證書(shū) | 選配 |
