HSR-8000共聚焦顯微鏡可對待測物的表面進行非接觸式三維形貌掃描,獲取2D/3D表面形貌、分析微觀輪廓幾何尺寸、粗糙度、平整度、曲率、面形精度等參數指標,提供依據ISO/ASME/EUR/GBT/四大國內外標準共計300余種2D、3D參數作為評價標準。
1、高精度、高重復性
?采用針孔,共聚焦光學系統、高穩定性結構設計、優異的3D重建算法組成測量系統保證測量精度高;
?2、一體化操作的測量分析軟件
?1)測量與分析同界面操作,無須切換,測量數據自動統計,實現了快速批量測量的功能;
2) 可視化窗口,便于用戶實時觀察掃描過程;?
3)結合自定義分析模板的自動化測量功能,可自動完成多區域的測量與分析過程;?
4)幾何分析、粗糙度分析、結構分析、頻率分析、功能分析五大功能模塊齊全;?
5)一鍵分析、多文件分析,自由組合分析項保存為分析模板,批量樣品一鍵分析,并提供數據分析與統計圖表功能;
6) 可測依據ISO/ASME/EUR/GBT等標準的多達300余種2D、3D參數。
測量原理 | 針孔共聚焦光學系統 | |
顯微物鏡 | 10x,20x,50x,100x | |
視場范圍 | 120x120?~1.2x1.2 mm | |
掃描幀率 | ≥4HZ | |
高度測量 | 重復性*1 | 20nm |
精度*1 | ±(0.2+L/100)? | |
顯示分辨率 | 0.5nm | |
寬度測量 | 重復性*2 | 40nm |
精度*2 | 2% | |
顯示分辨率 | Inm | |
XY位移平臺 | 尺寸 | 200×200mm |
移動范圍 | 100×100mm | |
負載 | 10kg | |
控制方式 | 電動 | |
Z0軸掃指 | 范圍 | 10mm |
Z0軸掃描步長 | 20nm-150nm | |
Z向移動范圍 | 100mm | |
物鏡塔臺 | 5孔電動 | |
光源 | 白光LED | |
外形尺寸 | 540*379*594mm | |
總重量 | 45kg | |
工作電源 | AC 220V/50HZ | |
工作環境 | 溫度10°C~35°C,溫度梯度<1°C/15分鐘,濕度30-80%振動<0.002g,低于15Hz |
在環境溫度20±2°C下用50X物鏡測量4.7?標準臺階樣塊。
在環境溫度20±2°C下用50X物鏡測量標準刻線樣板。
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