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HSR-8000 共聚焦顯微鏡

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具體成交價以合同協議為準

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HSR-8000共聚焦顯微鏡可對待測物的表面進行非接觸式三維形貌掃描,獲取2D/3D表面形貌、分析微觀輪廓幾何尺寸、粗糙度、平整度、曲率、面形精度等參數指標,提供依據ISO/ASME/EUR/GBT/四大國內外標準共計300余種2D、3D參數作為評價標準。

詳細信息 在線詢價

產品性能

1、高精度、高重復性

?采用針孔,共聚焦光學系統、高穩定性結構設計、優異的3D重建算法組成測量系統保證測量精度高;

?2、一體化操作的測量分析軟件

?1)測量與分析同界面操作,無須切換,測量數據自動統計,實現了快速批量測量的功能; 

2) 可視化窗口,便于用戶實時觀察掃描過程;?

3)結合自定義分析模板的自動化測量功能,可自動完成多區域的測量與分析過程;?

4)幾何分析、粗糙度分析、結構分析、頻率分析、功能分析五大功能模塊齊全;?

5)一鍵分析、多文件分析,自由組合分析項保存為分析模板,批量樣品一鍵分析,并提供數據分析與統計圖表功能; 

6) 可測依據ISO/ASME/EUR/GBT等標準的多達300余種2D、3D參數。

技術參數
測量原理針孔共聚焦光學系統
顯微物鏡10x,20x,50x,100x
視場范圍120x120?~1.2x1.2 mm
掃描幀率≥4HZ
高度測量重復性*120nm
精度*1±(0.2+L/100)?
顯示分辨率0.5nm
寬度測量重復性*240nm
精度*22%
顯示分辨率Inm

XY位移平臺

尺寸200×200mm
移動范圍100×100mm
負載10kg
控制方式電動
Z0軸掃指范圍10mm
Z0軸掃描步長20nm-150nm
Z向移動范圍100mm
物鏡塔臺5孔電動
光源白光LED
外形尺寸540*379*594mm
總重量45kg
工作電源AC 220V/50HZ
工作環境溫度10°C~35°C,溫度梯度<1°C/15分鐘,濕度30-80%振動<0.002g,低于15Hz
  • 在環境溫度20±2°C下用50X物鏡測量4.7?標準臺階樣塊。

  • 在環境溫度20±2°C下用50X物鏡測量標準刻線樣板。


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