型號：ASR-VMS-6050工作臺X/Y軸行程600MM*500MMZ軸行程有效空間235mm,調焦行程250mm

型號：ASR-VMS-6050
工作臺 X/Y軸行程 600MM*500MM
Z軸行程 有效空間235mm,調焦行程250mm，工作距離105mm
大理石臺面尺寸 650MM*550MM
玻璃臺面尺寸 450MM*350MM
傳動型式 傳動型：X/Y/Z軸中國臺灣進口精密線性導軌和中國臺灣進口滾珠螺桿 
測量伺服驅動系統 光學尺分辨率：X/Y/Z軸0.0002MM（0.2UM）        
測量精度：≤2.5UM+L/250 重復精度：≤2.5UM+L/250
X/Y/Z三軸合川高性能閉環伺服電機，雙重閉環控制系統
影像系統 攝像機一：高分辨率彩色1/3CCD攝像機放大倍率30-230X  
攝像機二：海康威視200W像素高清相機                        
連續變倍鏡頭：普密斯高清變倍鏡頭//連續放大倍率0.7-4.5X   
光源系統 表面光源與透射光源LED冷光源、壽命長、亮度可調
儀器外形尺寸（L*W*H） 800MM*950MM*1600MM
儀器重量（KG） 350KG