設備主要規格電源系統雙微波電源自主研發與華南理工大學合作功率0~2000W頻率2.45GHz真空系統真空泵KashiyamaNeoDry60E真空管路304不銹鋼
設備主要規格
電源系統 | 雙微波電源 | 自主研發與華南理工大學合作 |
功率 | 0~2000W | |
頻率 | 2.45GHz | |
真空系統
| 真空泵 | Kashiyama NeoDry60E |
真空管路 | 304不銹鋼，高強度真空管路 | |
材質 | 鋁合金 | |
腔體絕緣材質 | 陶瓷 | |
密封性 | 耐腐蝕硅膠密封圈 | |
腔體內部尺寸 | 24升 | |
清洗產品范圍 | 180~250mm×30~80mm（長×寬）平面變形量＜2 | |
料盒尺寸范圍 | 200~270mm×37~97mm×150mm（長×寬×高） | |
軌道寬度調整方式 | 手動滾輪調節 | |
流道數量 | 4條，流片方向左進右出方式 | |
電極板工作面積 | 340×500mm | |
氣體系統 | 流量范圍 | 0~300SCCM |
工藝氣體氣路 | 標配氧氣、氬氣兩路工藝氣體(可定制） | |
控制系統 | 系統控制 | 工控機 |
防呆 | 夾料監控 | 可監控30~80mm引線框架 |
料盒防呆 | 可監控料盒是否已經放置到位 | |
UPH | UPH | 120PC Lead frame |
Plasma效果 | 清洗要求 | 有效去除物料正反面表面的氧化層 |
溫度要求 | 連續工作溫度不超過200℃ | |
其他參數 | 外形尺寸 | 寬1300×長2000×高2064mm（含指示燈高） |
重量 | 1000KG | |
功率 | 15KW | |
設備外觀顏色 | 銀灰色 |
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