ZHDF獨立支撐氣浮隔振光學平臺應用領域：適合于高倍數電子顯微鏡、掃描探針顯微鏡、激光干涉儀、激光共聚焦顯微鏡等領域應用產品特點：■中弘精密依托于光電子產業科研工作人員，研發制造的一款通用性隔振光學平臺，能夠滿足精密負載對振動隔離需求，且面向大多數設備儀器提供通用化隔振解決方案，改善振動環境，以發揮設備儀器的效能

ZHDF獨立支撐氣浮隔振光學平臺

應用領域：

適合于高倍數電子顯微鏡、掃描探針顯微鏡、激光干涉儀、激光共聚焦顯微鏡等領域應用

產品特點：

■中弘精密依托于光電子產業科研工作人員，研發制造的一款通用性隔振光學平臺，能夠滿足精密負載對振動隔離需求，且面向大多數設備儀器提供通用化隔振解決方案，改善振動環境，以發揮設備儀器的效能。

■優異的隔振性能：內置精密空氣彈簧隔振系統，具備優秀的固有頻率，對多個方向的振動尤其是垂直方向有著良好衰減效果，避免外界振動干擾設備儀器精度，提高儀器設備使用精度和使用效率。

■自動調節水平功能：放置負載的位置發生變化，平臺迅速通過高精度閥門自動調整空氣彈簧內部的氣壓，自動保持水平。氣動元器件全部執行德國FESTO產品標準，標配優質壓縮機。

■臺板采用蜂窩芯夾板結構,具有重量輕、高剛度、高阻尼等優點，上面板為1cr17優質高導磁不銹鋼，經精密研磨處理，平面度高，回旋打磨工藝清除毛邊，達到無反射、亞光效果，面板具有M6螺孔陣列，易于固定光學元件。

■隔振支撐為優質鋼管焊接而成，整體堅固可靠。

■工作壓力為0.35～0.6Mpa，標準配置調壓過濾閥將保證空氣彈簧的長期有效工作，用戶只需要將氣管連接進氣口，就能使裝置正常發揮隔振功能，氣源可通過小型空氣壓縮機或氮氣瓶供給，便于在安靜場合使用。

技術指標：

■平面度：< 0.05mm/m2

■表面粗糙度：< 0.8μm
■固有頻率；x方向：1.2Hz～2.0Hz y方向：1.2Hz～2.0Hz

■減振效率：x方向＜5Hz時：88%～94% y方向＜5Hz時：86%～92%

x方向＜10Hz時：92%～98% y方向＜10Hz時：90%～95%

■振幅：< 1μm

■荷載能力：500kg/m2

■重復定位精度：±0.05mm

產品選型表：