樣品：包裹有機(jī)物的金屬棒
樣品提供：Vassar College, Chemistry Dept. Mr. Smart and Ms. Pineda
通過(guò)UD、MD、LD探測(cè)器同時(shí)采集信號(hào)的應(yīng)用實(shí)例 （加速電壓：1 kV）
通過(guò)UD、MD、LD探測(cè)器可以同時(shí)采集信號(hào)，UD可獲取表面微細(xì)形狀信息，MD可獲取表面有機(jī)物包覆狀態(tài)信息，LD可獲取整體凹凸形貌信息。在同一個(gè)條件下，實(shí)現(xiàn)了獲取信息的。
采用可多通道顯示的GUI設(shè)計(jì)
優(yōu)化信號(hào)顯示功能
成像單元在信號(hào)顯示上也作了全新升級(jí)。
1、用戶可根據(jù)觀察需求，選擇不同的視場(chǎng)角和通道數(shù)。
2、單屏最多可同時(shí)顯示4通道信號(hào)。
3、導(dǎo)航功能(SEM MAP)可以輕松捕捉到顯示樣品倉(cāng)內(nèi)信息的CCD相機(jī)圖像和相機(jī)拍攝到的樣品圖像，快速顯示目標(biāo)圖像。
4、使用雙屏顯示時(shí)，可在一個(gè)顯示屏上雙通道顯示1,280×960像素的圖像，另一個(gè)顯示屏專門(mén)用來(lái)顯示信號(hào)，最多可同時(shí)顯示6通道信號(hào)。
高自由度的界面布局
使用單屏?xí)r，可以單通道、雙通道、四通道顯示樣品信息，也可以顯示CCD相機(jī)圖像、樣品臺(tái)圖像/SEM MAP圖像等。而且操作畫(huà)面上的工具欄可以任意移動(dòng)、添加和刪除。
支持雙屏顯示
1st顯示屏專門(mén)用來(lái)顯示圖像，2nd顯示屏用來(lái)顯示操作面板畫(huà)面。上圖左圖（1st顯示屏）是通過(guò)SU7000觀察到的鋼鐵中非金屬夾雜物的圖片。圖中清晰呈現(xiàn)出UD、LD、UVD、MD、PD-BSED5個(gè)探測(cè)器捕捉到的圖像以及SEM MAP圖。右圖（2nd顯示屏）將操作面板菜單和圖像歷史記錄窗口在同一個(gè)畫(huà)面中顯示，界面布局清晰明了。在實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)監(jiān)控圖像的同時(shí)，操作性能也得到了進(jìn)一步提升。
可擴(kuò)展觀察和分析方法
樣品倉(cāng)和馬達(dá)臺(tái)
樣品倉(cāng)可搭載直徑為φ 200 mm；80 mm的樣品。大開(kāi)倉(cāng)設(shè)計(jì)，標(biāo)配18個(gè)附件接口。樣品臺(tái)可搭載XY軸移動(dòng)距離為135×100 mm，最重2 kg的樣品。搭載大型樣品和功能樣品臺(tái)不成問(wèn)題。
相機(jī)導(dǎo)航功能(*)
SU7000可選配導(dǎo)航相機(jī)(*)，迅速鎖定要觀察的位置。相機(jī)安裝在樣品倉(cāng)內(nèi)，插入樣品后，可半自動(dòng)拍攝樣品的整體圖像。該圖像會(huì)被顯示到導(dǎo)航畫(huà)面（SEM MAP）窗口，因此，用戶可以觀察窗口中的圖像判斷位置。適用尺寸為φ 100 mm。
- (*) 可選配相機(jī)。
支持動(dòng)態(tài)觀察的檢測(cè)系統(tǒng)
SU7000可用于環(huán)境改變的動(dòng)態(tài)觀察。低真空觀察時(shí)，可以選用PD-BSED（背散射電子探測(cè)器）、UVD、MD等各種探測(cè)器(**)。
低真空環(huán)境的探測(cè)器選擇
左圖為通過(guò)MD（背散射電子），右圖為通過(guò)UVD（二次電子）探測(cè)器觀察到的金屬氧化物纖維的情況。兩張圖分別清晰地呈現(xiàn)出氧化物的分散狀態(tài)和纖維的堆積情況。
PD-BSED：響應(yīng)速度提高
左圖是以一般的響應(yīng)速度，約每?jī)擅霋呙枰淮蔚玫降膱D像；右圖抑制了圖像的漂移，使得整體的畫(huà)質(zhì)得到了大幅提升。隨著響應(yīng)速度的提高，更適用于In-Situ觀察。
- (**) 可選配PD-BSED、UVD。
產(chǎn)品規(guī)格：
| 項(xiàng)目 | 內(nèi)容 |
| 圖像分辨率 | 二次電子分辨率 | 0.8 nm/15 kV |
| 0.9 nm/1 kV |
| 放大倍率 | 20～2,000,000 x |
| 電子槍 | 發(fā)射體
| ZrO/W熱場(chǎng)發(fā)射（肖特基熱場(chǎng)發(fā)射） |
| 加速電壓 | 0.1～30 kV （步進(jìn)：0.01 kV） |
| 束流 | 200 nA |
| 探測(cè)器 | 標(biāo)準(zhǔn)探測(cè)器 | UD（上探測(cè)器） |
| MD（中探測(cè)器） |
| LD（下探測(cè)器） |
| 選配探測(cè)器*1 | PD-BSED（半導(dǎo)體式背散射電子探測(cè)器） |
| UVD（高靈敏度低真空探測(cè)器） |
| 低真空模式*1 | 樣品倉(cāng)壓力范圍 | 5～300 Pa |
| 可使用探測(cè)器 | PD-BSED, UVD, UD, MD, LD |
馬達(dá)臺(tái)
| 馬達(dá)臺(tái)控制 | 5軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng) |
移動(dòng)范圍
| X | 0~135mm |
| Y | 0~100mm |
| Z（WD） | 1.5~40mm |
| T（傾斜角） | -5~70° |
| R（旋轉(zhuǎn)角） | 360° |
| 樣品尺寸 | 直徑：φ200 mm, 高度：80 mm |
| 顯示器*1 | 23英寸LCD（1920×1080），支持雙屏 |
| 圖像顯示模式 | 全屏顯示模式 | 1280×960像素顯示 |
| 單屏顯示模式 | 800×600像素顯示 |
| 雙屏顯示模式 | 800×600像素顯示、1280×960像素顯示*2 |
| 四屏顯示模式 | 640×480像素顯示 |
| 六屏顯示模式*2 | 640×480像素顯示*2 |
| 圖像數(shù)據(jù)保存 | 保存圖像尺寸 | 640×480、1,280×960、2,560×1,920、5,120×3,840、10,240×7,680 |
| 選配附件 | 能譜儀（EDX） |
| X射線波譜儀（WDX） |
| 電子背散射衍射（EBSD） |
| 陰極熒光探測(cè)器（CL） |
| 冷凍傳輸系統(tǒng) |
| 各種功能樣品臺(tái) |
*1 為選配項(xiàng)。
*2 支持雙屏顯示。
安裝布局：
