- 極速成像
- 高質(zhì)量成像
- 跨尺度大規(guī)模成像
- 智能分析
- 操作簡單
極速成像
通過創(chuàng)新的硬件和軟件設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)二次電子與背散射電子雙通道同步成像：視頻級(jí)高分辨成像2×100M像素/秒，6秒鐘即可拍攝一張6億像素高清圖像（區(qū)域：50μm×50μm分辨率:24K×24K ）。相較傳統(tǒng)意義掃描電鏡，其掃描速度高出一個(gè)數(shù)量級(jí)以上。
高清視頻級(jí)攝像幀率（2×200幀/秒@512×512，或2×60幀/秒@1024×1024），使其具有實(shí)時(shí)觀測樣品動(dòng)態(tài)變化的能力。
高質(zhì)量成像
SORRILTM復(fù)合式電磁物鏡系統(tǒng)，有效地減小低落點(diǎn)能量下物鏡的像差，達(dá)到分辨能力（1.5nm @ 1 kV， 1.0nm @ 5 kV）。
與物鏡系統(tǒng)復(fù)合的靜電式掃描偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)，相比于傳統(tǒng)電鏡的磁偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)，極大地減小圖像邊沿畸變，可獲得兼具高分辨率和大視野（pixel size 2nm@Field of view 50um，水平畸變1/1000以下，垂直畸變1/10000以下）的圖像。
In-Lens SE與BSE半導(dǎo)體直接電子探測器，雙通道同時(shí)高速成像，兼具高靈敏度和高信號(hào)電子收集效率，即使在n別的大束流條件仍可獲得高質(zhì)量的圖像襯度和信噪比。
配備主動(dòng)補(bǔ)償系統(tǒng)（激光干涉振動(dòng)補(bǔ)償、電磁干擾主動(dòng)補(bǔ)償），消除環(huán)境因素干擾，保證成像高分辨力高質(zhì)量。
跨尺度大規(guī)模成像
高速掃描成像能力，結(jié)合全自動(dòng)聚焦跟蹤系統(tǒng)和A.I.圖像處理算法，實(shí)現(xiàn)對(duì)超大區(qū)域（150mm*150mm）樣品進(jìn)行高分辨率全自動(dòng)不間斷矩陣式掃描，并自動(dòng)拼接獲得大尺寸納米級(jí)分辨率的全景地圖式成像，使之具備了跨尺度信息融合能力，可實(shí)現(xiàn)從納米級(jí)到毫米級(jí)的跨尺度材料表征。
智能分析
大數(shù)據(jù)智能分析 ，海量SEM圖像快速生成數(shù)據(jù)分析報(bào)告；
智能圖像處理，定制化圖像測量、統(tǒng)計(jì)、分析。
操作簡單
全自動(dòng)樣品載入與導(dǎo)航，一鍵換樣。大視場光學(xué)成像導(dǎo)航與SEM成像無縫銜接，對(duì)區(qū)域快速準(zhǔn)確實(shí)現(xiàn)定位和觀測。
7*24小時(shí)全自動(dòng)化無人值守運(yùn)行能力。
