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半導體應用紅外測溫儀
產品介紹化學氣相沉積(CVD)工藝是一種涂層工藝,它在加熱的基材表面使用熱誘導化學反應,試劑以氣態形式(CH4和H2等離子體)提供
化學氣相沉積 (CVD) 工藝是一種涂層工藝,它在加熱的基材表面使用熱誘導化學反應,試劑以氣態形式(CH4 和 H2 等離子體)提供。
CVD 工藝在真空爐中進行,溫度范圍為 600 至 2500 攝氏度。在此過程中,將一片晶種薄片放置在密封室中并加熱到 800 攝氏度左右。然后在該室中填充碳達到的氣體(CH4 &H2),在這個過程中,來自氣體的離子被解離,從而增加了石墨烯在襯底上的沉積,即目標晶種上的碳和氫等離子體。
一片金剛石的種子放置于高溫高壓的密封容器中。容器里有甲烷等混合氣體。通過微波、激光或其它技術手段將氣體電離出等離子體,即把氣體中的分子電離后,比較純的碳元素就附著于金剛石的種子表面,逐漸地生長成晶體。晶體生長過程中,溫度檢測是至關重要的。實際是要檢測晶體表面的溫度而非等離子體的溫度(透過等離子體)。
該應用程序的挑戰性部分是等離子體發射特定波長的紅外能量,我們需要通過等離子體測量目標的一致溫度。 AST 提供基于非接觸式紅外的高溫計,可在等離子體透明的選定波長下工作。由于 CVD 是一個耗時的過程,因此儀器的高精度和穩定性至關重要。
以色列AST(Accurate Sensors Technology)公司專門設計制作的CVD測溫儀, 可以應用于人造金剛石、硅外延生長、碳化硅晶體爐等,具有內置溫度顯示、模擬和數字輸出、繼電器輸出和參數設置按鍵。它的傳感頭非常小,安裝非常方便。隨附的軟件 Infrasoft 可幫助用戶通過 RS 232 或 RS 485 在電腦中連續記錄過程數據。
AST-EG系列
測量范圍(分段)
250 ~ 1800°C
發射率0.1~0.3%+1
重復性
讀數的0.1% + 1
主要應用
退火、軋鋼、焊接、金屬加工、鍛造等
瞄準方式
激光
熱電偶輸出(選配)
—
信號處理
峰值保持及跟蹤保持
可選配件
安裝配件、RS-232/ RS-485接口、其它的電纜長度
特性:
探頭可以承受180℃的環境溫度
USB2.0數字輸出
內置LCD顯示和設置面板
RS-232/RS-485串行接口卡
4?20mA、0?20mA或0?10V輸出,K型或J型熱電偶(可選)
繼電器輸出
防爆電容物位計高壓真
壓電驅動控制高壓功率
美國DCC重型焊機HotSp
德國進口NCTE數顯儀表
多功能萬用表
肉牛背膘眼肌測定儀測
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