在測量站使用MarSurfXCR20測量粗糙度和輪廓這個綜合的測量站可在一臺測量站上同時執行表面粗糙度和輪廓測量
| 接觸速度（Z 方向） | 0.1 至 1 mm/s |
|---|---|
| 測桿長度 | 175 mm, 350 mm |
| 測量速度（文本） | 0.2 mm/s 至 4 mm/s |
| 針尖半徑 | 25 |
| 掃描長度末尾（X 方向） | 200 mm |
| 分辨率 | Z 方向，相對探針針頭： Z 方向，相對測量系統： |
| 掃描長度開始（X 方向） | 0.2 mm |
| 取樣角 | 在平滑表面上，取決于偏差： 后緣高至 88°，前緣高至 77° |
| 定位速度（文本） | X 方向返回速度：0.2 至 8 mm/s Z 方向：0.2 至 10 mm/s |
| 導塊偏差 | < 1 µm（200 mm 以上） |
| 測量原則 | 探針法 |
| 輸入 | R 測頭，MFW 250 光學測頭 Focodyn*、LS 1*、LS 10* （*僅結合 PGK 或 GD 120 CNC 驅動裝置） |
| 測量范圍 mm | (in Z) 50 mm MFW 250: ±25 µm，±250 µm，（ ±750 µm）；±1000 µin，±10,000 µin（ ±30,000 µm） |
| 掃描長度（文本） | 自動；0.56 mm；1.75 mm；5.6 mm；17.5 mm，56 mm， （.022 / .070 / .224 / .700 / 2.240 英寸）， 測量至擋塊，可變 |
| 采樣長度數量符合 ISO/JIS | 1 至 50（默認：5） |
| 測量力 (N) | 1 mN 至 120 mN 左右 （可在 MarSurf XC 20 中設置） |
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