FEI Vion™ Plasma 聚焦離子束系統 (PFIB) 能使您的實驗室實力大增，因為只需這一臺使用簡便的設備便可獲得**的光刻和成像性能。采用等離子源技術的 Vion PFIB 擁有比傳統鎵 FIB 儀器更高的吞吐量，具體來說，位置特異性切片分析、大面積光刻和樣本制備的速度提高了 20 倍以上。Vion PFIB 在低離子束電流下也能實現的光刻精確度和高分辨率成像，能夠快速、準確地生成高對比度圖像，這對眾多工藝控制、失效分析或材料研究應用至關重要。

性能特點

Vion PFIB 的材料科學應用
Vion PFIB 特別適合用于金屬、復合物和涂層，并支持眾多材料表征、失效分析和樣本制備應用。

快速制作位置特異性切片，同時直接對樣本成像以實現實時監控目的
提高銑削速度，無需為大面積及重復性銑削項目以及鋼等低濺射速率材料而**質量
開展動態壓縮或拉伸測試時，迅速對結構和表面執行位置特異性顯微加工。
開展電子背散射衍射分析時，制備高質量的位置特異性表面；制備適用于 SEM 和 TEM 等其他成像和表征技術的標本
獲得亞 30 nm 圖像分辨率，以便快速識別與測量薄層及結構
Vion PFIB 的電子工業應用
高吞吐量三維封裝分析
Vion 等離子 FIB 是一款能夠進行高精度高速切削和銑削的儀器。它能夠有選擇地對興趣區域進行銑削。此外，這款 PFIB 還能有選擇地沉積構成圖案的導體和絕緣體。
通過將高速光刻與**控制相結合，系統可以多種方式用于 IC 生產，例如：

隆起物、絲焊、TSV 和晶片堆疊失效分析
精確移除封裝和材料，以便開展失效分析以及隔離掩埋的芯片上的故障
在封裝級別開展工藝監控和開發
對封裝的零件和 MEMS 器件開展缺陷分析

應用領域

掃描電鏡**地應用于金屬材料（鋼鐵、冶金、有色、機械加工）和非金屬材料（化學、化工、石油、地質礦物學、橡膠、紡織、水泥、玻璃纖維）等檢驗和研究。在材料科學研究、金屬材料、陶瓷材料、半導體材料、化學材料等領域進行材料的微觀形貌、組織、成分分析，各種材料的形貌組織觀察，材料斷口分析和失效分析，材料實時微區成分分析，元素定量、定性成分分析，快速的多元素面掃描和線掃描分布測量，晶體、晶粒的相鑒定，晶粒尺寸、形狀分析，晶體、晶粒取向測量。