光學儀器美國紫外光能量計OAI659用于半導體、EMS、圓封裝和晶圓凸點等行業的光刻工藝的可靠準確校準控制。新型號659是一種新的紫外曝光分析儀，專門設計用于包括高強度晶圓步進機在內的所有晶片步進機。

光學儀器美國紫外光能量計OAI659

       OAI品牌 659  紫外光能量計——適用于所有晶圓步進機

在過去的45年里，OAI一直是紫外光和能量測量儀器的世界創造者，用于半導體、EMS、圓封裝和晶圓凸點等行業的光刻工藝的可靠準確校準控制。新型號659是一種新的紫外曝光分析儀，專門設計用于包括高強度晶圓步進機在內的所有晶片步進機。該儀器的平均曝光讀數高達400，具有以太網和USB接口，可下載記錄的測量值，強度范圍高達7500MW/cm2。探針的波長有365nm、400nm、420nm和436nm可選。OAI擁有一個完整的認證校準實驗室，以維護我們儀表的性能、質量和可靠性。659型儀表可追溯至NIST標準。

光學儀器美國紫外光能量計OAI659規格：

用戶界面：觸摸屏

計算機接口：可選以太網和USB下載記錄

測量

電源：電池采用充電保護的3.7V鋰離子充電

充電器電源：100-240 VAC

顯示設置：2個屏幕

1.設置屏幕：以太網地址、日期和時間

2.運行屏幕：波長、強度、時間、劑量、探針溫度、探針類型、偏差百分比、序列號、校準到期日、電池狀態、探針序列號和充電器狀態。

內存存儲：高達400條讀取

強度范圍：高達7500mw/cm2

強度分辨率：0.01mW/cm2

劑量范圍：高達1000 J/cm3

劑量分辨率：0.01mJ/cm3

時間范圍：高達9999秒

時間分辨率：0.0001秒，*小劑量暴露25米秒

尺寸：14英寸X 8.25英寸X 3.5英寸

重量：3.5磅

工作環境：15–40度

符合：ROHS2和CE（EMC和安全）

探頭規格

選項：非補償溫度探頭

探頭檢測器：硅光電二極管

可用波長（nm）365、400、420、436

過濾器：多層吸收/介質

強度范圍：高達7500MW/cm2

互換性：任何型號的659探針都可以與659儀表一起使用

符合性：ROHS2和CE（EMC和安全）

注：報價僅為主機報價，探頭可從上面4個中（365、400、420、436nm）選擇并單獨購買，還需提供步進機品牌和型號。

      6XX系列替換了之前的3XX和4XX系列，3XX和4XX系列于2020年12月陸續停產。