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RTP-3-04 快速退火爐廠家 供應半導體晶圓退火設備

參考價 356000 350000 340000
訂貨量 1-2 3-5 ≥6
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱 武漢嘉儀通科技有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號 RTP-3-04
  • 所在地 武漢市
  • 廠商性質 生產廠家
  • 更新時間 2023/6/29 10:17:07
  • 訪問次數 361

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武漢嘉儀通科技有限公司成立于2009年,是一家技術自主創新的國家新技術企業。公司集快速退火爐研發、市場和技術服務于一體的快速退火爐廠家,本公司生產銷售的快速退火爐覆蓋1-12吋樣品測試,分為科研與產線兩種應用場景類型共8款機型。快速退火爐廠家 供應半導體晶圓退火設備。

詳細信息 在線詢價

武漢嘉儀通科技有限公司成立于2009年,是一家技術自主創新的國家新技術企業。公司集快速退火爐研發、市場和技術服務于一體的快速退火爐廠家,本公司生產銷售的快速退火爐覆蓋1-12吋樣品測試,分為科研與產線兩種應用場景類型共8款機型。快速退火爐廠家  供應半導體晶圓退火設備。



 

快速退火爐(RTP-3-04臺式系列) (3).jpg


快速退火爐產品特點

快速加熱和降溫: 可控升溫速率可達50 ℃/s,特定條件下可以達到100 ℃/s。冷壁水冷設計能夠達到較大的降溫速率,特定條件下可達30 ℃/s。

 精確控溫: 采用工業級溫控器進行PID精確控溫,目標溫度與設定溫度曲線一致性高,可實現室溫至1200 ℃的溫度精確控制。

 適應多種工藝環境: 滿足多種工藝氣氛下的熱處理(氮氣、氬氣等)。同時,通過選配真空泵,可以在真空條件下進行退火,真空度可達10-3Pa。

 配備觀察窗口: 通過觀察窗口,可以實時觀察熱處理過程中的樣品變化。同時,可以結合相關測試方法進行原位測試分析。

 超高安全系數: 采用爐壁超溫報警系統和冷卻水流量報警系統,多方位保障儀器使用安全。

快速退火爐廠家:擁有自主研發技術和制造能力,能快速反應客戶售后需求。

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快速退火爐技術參數:

 

型號

1-12英寸系列

溫度

1200℃

升溫速率

50℃/s

溫度均勻性

≦1%設定溫度

溫度控制

選用工業級溫控器,控溫精度±0.1℃

溫度傳感器

標準K型熱電偶

降溫速率

1200℃→400℃,200℃/min

400℃→100℃,20℃/min

(自然冷卻)

樣品尺寸

1-12英寸樣品

 

快速退火爐廠家  供應半導體晶圓退火設備服務的客戶

 

公司的快速退火爐服務于的大學有:清華大學、復旦大學、南京大學、浙江大學等大學

服務的重要科研院所中科院微電子所、半導體所、微系統所、綿陽九院等

服務的半導體企業有:華為海思、三安光電、敏而精密、澤達等等頭部半導體企業等等


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