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原位薄膜厚度測量儀-MPROBE 50 INSITU

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MPROBE50INSITU–實時薄膜厚度測量儀原位薄膜厚度測量儀-MPROBE50INSITU用于測量薄膜厚度和n原位薄膜厚度測量儀-MPROBE50INSITU優勢:1

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MPROBE 50 INSITU – 實時薄膜厚度測量儀


 


原位薄膜厚度測量儀-MPROBE 50 INSITU用于測量薄膜厚度和 n&k(光學常數)的實時光學測量儀。該系統可以在高環境光下工作,因為它使用門控數據采集。原位薄膜厚度測量儀-MPROBE 50 INSITU使用高強度閃光氙燈在寬帶 ( UV-NIR) 波長范圍內進行精確測量。MProbe 50 系統是可定制的,以支持不同的幾何形狀。原位薄膜厚度測量儀-MPROBE 50 INSITU根據可用的光學端口,可以使用斜入射或垂直入射。光可以聚焦在樣品表面或準直。反射探頭可以放置在沉積室光學端口的外部或內部(使用饋通)。MProbe 50 系統沒有活動部件。典型測量時間~10ms。可以快速可靠地測量任何半透明薄膜。

 

原位薄膜厚度測量儀-MPROBE 50 INSITU優勢:

1.原位薄膜厚度和 n&k 測量

2.用于高環境光環境下測量的門控數據采集

3.材料:500+ 擴展材料數據庫

4.連續、快速和可靠的測量

5.靈活的配置——定制以匹配沉積室的幾何形狀


 原位薄膜厚度測量儀-MPROBE 50 INSITU選型列表:

MProbe50 

 波長范圍

    厚度范圍

   VIS

400nm -1100nm

   15nm – 20 μm

 HRVIS

700nm-1000nm

    1μm-400μm

   NIR

900nm-1700nm

  100nm – 200μm

  UVVisF

200nm -900nm

   1nm – 20μm

 UVVISNIR

200nm-1700nm

   1nm -200μm

XT

1590nm -1650nm

   10μm-1mm



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