KLA公司全系列的力學測試產品均采用電磁驅動原理的加載力激發器， iMicro微納米壓痕儀。對納米壓痕物理模型和優線性特性的電磁力驅動原理的深刻理解，以及具有良好靈敏度的三片式電容傳感器的設計，保證全系列納米力學產品在整個量程范圍內均能得到高分辨的控制。1000mN載荷范圍，6nN加載精度，0.04nm位移精度。
? 快速準確的動態納米壓痕測試
? 電磁加載方式
? 快速準確的位移測量

•IMicro包括InView軟件，它提供非常強大和直觀的實驗腳本平臺，可以用于設計新穎的實驗。有經驗的用戶可以使用IMicro進行幾乎所有小規模的機械測試。

•樣品臺移動Z軸為25 mm，X為100 mm，Y軸為150 mm，可測試各種樣品高度和大樣品區。

•載荷剛度>3,500,000N/m

•特的TiP-calibration系統集成到軟件中，可以快速、準確、自動的進行校準。可選擇NanoBlitz地形和斷層掃描軟件來執行

•更高的負載和更廣泛的應用使IMicro成為世界上研究實驗室的選擇

•允許進行廣泛的測試，包括但不限于特定頻率的實驗、存儲和損失模量、模量和硬度（Oliver和Pharr）和恒定應變率。

•多功能執行機構可用于測試任何材料，從超軟凝膠到硬涂層。

•可用的劃痕選項，大負載為50mN，大劃痕偏差為2.5mm，大劃痕速度為500um/s。