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HPR-30 過程氣體分析儀

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HPR-30過程氣體分析儀(Process Gas Analyser),適用于監(jiān)測分析殘余氣體和真空過程。可檢測反應(yīng)室內(nèi)存在的所有成分,以及系統(tǒng)析出的新組分。

詳細(xì)信息 在線詢價(jià)

HPR-30過程氣體分析儀應(yīng)用:

· CVD / PECVD / RIE / LPCVD / MOCVD
· 真空涂覆/ 等離子蝕刻
· 濺射沉積
· 污染物研究
· 基本壓力辨別
· 泄漏探測/ 實(shí)質(zhì)上的泄漏/脫附分析
· 除氣/烘烤/泵效能
· 反應(yīng)室/過程氣體污染物

HPR-30過程氣體分析儀特點(diǎn):

· 簡潔的桌上型,移動(dòng)推車或控制臺架結(jié)構(gòu)
· Direct re-entrant流孔板,差式泵,以達(dá)到z適宜的靈敏度
· 連續(xù)取樣從1mbar至 10-4mbar.
· 高靈敏度(至5ppb),質(zhì)量數(shù)至1000amu
· 軟離子化技術(shù),分析復(fù)雜有機(jī)物,或表觀MS研究
· 穩(wěn)定性好(24h之上,峰高變化小于±0.5%)
· MASsoft軟件控制,或由局域網(wǎng)進(jìn)行多個(gè)系統(tǒng)控制
· 氣動(dòng)閥自動(dòng)控制;出現(xiàn)電力不足或壓力過大等不安全狀況時(shí)可啟用手動(dòng)隔離裝置
· 自動(dòng)、同時(shí)數(shù)據(jù)取得、分析,實(shí)時(shí)顯示、報(bào)警。


北京英格海德分析技術(shù)有限公司

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