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SPT-20 SPT-20小型離子濺射儀

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SPT-20小型離子濺射儀,預(yù)設(shè)八種靶材的濺射參數(shù),可用于掃描電鏡制樣,也可用于其他小型鍍膜實(shí)驗(yàn)。采用微處理器進(jìn)行全自動(dòng)控制,LCD液晶屏顯示,設(shè)置簡(jiǎn)單,一鍵操作,沒有任何使用經(jīng)驗(yàn)的用戶,都可以獨(dú)立操作。具有穩(wěn)定的離子流,可以產(chǎn)生均勻的顆粒尺寸和均勻的鍍膜厚度。

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SPT-20小型離子濺射儀,預(yù)設(shè)八種靶材的濺射參數(shù),可用于掃描電鏡制樣,也可用于其他小型鍍膜實(shí)驗(yàn)。采用微處理器進(jìn)行全自動(dòng)控制,LCD液晶屏顯示,設(shè)置簡(jiǎn)單,一鍵操作,沒有任何使用經(jīng)驗(yàn)的用戶,都可以獨(dú)立操作。具有穩(wěn)定的離子流,可以產(chǎn)生均勻的顆粒尺寸和均勻的鍍膜厚度。

性能指標(biāo)

  快速抽真空,小于3分鐘
  預(yù)設(shè)的快速操作,一鍵操作
  條件設(shè)置簡(jiǎn)單,
  自動(dòng)真空控制
  完成鍍膜,自動(dòng)卸載真空,
  樣品高度調(diào)節(jié)方便,
  靶的尺寸:直徑50.8mm(Au/Pt/Ag......  八種靶材)
  電源:220V,60Hz/50Hz ,300W
  離子流控制范圍:1-9mA
  電離電壓:~3KV
  濺射時(shí)間:10-300秒
  外形尺寸:420(W) x 220(D) x 230(H) mm 
  樣品室內(nèi)徑:100mm
  旋片式機(jī)械真空泵:24L/min


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