低溫催化型氣體純化系統使用自有催化劑和吸附劑,具有使用壽命長、純化深度高、抗原料氣瞬間波動能力強等優點，采用物理吸附和催化反應聯用，能夠在室溫下將惰性氣體及N2中的H2O、O2、CO、CO2、H2和MCHC純化到小于1ppb的水平，也能去除H2中的O2、CO2和H2O等。該套系統具手動、半自動和全自動3種操作類型，可根據使用要求自選。 

 

 

◎適合不低于99.999%純度的原氣配合使用

 

◎此產品為雙式結構，一組工作，另一組再生備用

 

◎純化深度高，出口各種雜質含量＜10ppb◎電化學拋光316（L）不銹鋼

 

◎內置高效粒子過濾器

 

◎采用催化和吸附工藝聯用

 

◎工作溫度低，設備更節能

 

 

◎保護氣純化：鋼鐵、石化、機械行業

 

◎高純單晶硅、晶片外延、大規模集成電路、光電產品生產等電子工業氣體終端純化

 

◎半導體工藝設備：CVD、MOCVD、HVPE、擴散爐等

 

◎大宗氣體純化

 

系統參數