激光干涉平面度測量儀，采用激光掠入射光干涉原理，專注于高精密加工表面平面度快速測量評估, 廣泛應用于半導體行業（Wafers）、LCD掩膜、玻璃、泵、閥門密封件表面（Sealing surfaces），以及光學工程，激光工程等領域。

激光干涉平面度測量儀，采用掠入射光干涉原理，專注于高精密加工表面平面度快速測量評估, 廣泛應用于半導體行業（Wafers)、LCD掩膜(Photomask)、玻璃(Glass)、泵、閥門密封件表面(Sealing surfaces)，以及光學工程，激光工程等領域。

產品特點：

◆ 非接觸式平面度測量接觸

◆ 高精密評估: ＜0.4µm

◆ 測量速度快: ＜3秒

◆ 可用于車間現場, 100%全檢

◆ 平面度評估符合ISO/TS12781-1(FLTt)

◆ 三維形貌評估軟件, 可支持CNC編程批量檢測

◆ 表面自動識別系統, 或手動選擇區域(圓, 圓環, 矩形區域)評估

◆ 數據采集量大, 一次完成對300,000點的評估

◆ 快速生成報告并保存為.csv數據格式, 支持Q-das等統計分析軟件

◆ 廣泛應用于拋光, 研磨或細磨精密表面, 像閥門盤, 密封環等

技術參數：