Transpector XPR 3+ 殘余氣體分析儀

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具體成交價以合同協議為準

公司名稱 英福康（廣州）真空儀器有限公司
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廠商性質其他
更新時間 2021/2/3 16:28:05
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促銷詳細：

2020年01月08日至 2020年02月08日

特價促銷

模內澆口分離自動化，降低對人的依賴度；傳統的塑膠模具開模后產品與澆口相連，需二道工序進行人工剪切分離，模內熱切模具將澆口分離提前至開模前，消除后續工序，有利于生產自動化，降低對人的依賴。

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概述
規格
下載

好處

從高真空到 PVD 流程壓強條件下，能夠高靈敏度地檢測空氣泄漏和污染，實時保護晶圓和面板
大化 PM 效率和工具正常使用時間，具有快速可靠的腔室條件
通過延長使用壽命、防污染、雙離子源設計小化總體擁有成本；無需泵，即可監測高達 20 mTorr 的壓強。低壓 EM 變體可提供成本敏感的替代選擇
通過強大數據采集與同步實現無縫工廠集成和可靠阻斷
通過定制配方優化增強*生產能力
通過即時現場專家響應保護關鍵過程需求

典型應用

PVD 和濺射過程模塊
預清洗模塊
非群集 PVD 工具
夾鉗式除氣模塊

規格

類型		1-100 amu
分辨率1		<1 @="" 10%="" measured="" at="" mass="" 4,="" 20,="" 28="" and="">
檢測器類型		Off-axis FC and microchannel plate EM
溫度系數2		<1% of="" peak="" height="" per="">
質量位置穩定性3		<0.1 amu="" over="" 24="">
峰比率穩定性?		<2% over="" 24="">
靈敏度（FC 模式）?		≥4E-7 amps/Torr (3E-7 amps/mbar)
靈敏度（標稱）?		≥8E-3 amps/Torr (3E-3 amps/mbar)
小可檢測分壓?（FC 模式）?		≤1E-9 Torr (1.3E-9 mbar)
小可檢測分壓?（EM 模式）?		≤6E-12 Torr (8E-12 mbar)
大工作壓力（FC 或 EM 模式）		20 mTorr (2.6E-2 mbar)
大工作壓力（線性操作）		10 mTorr (1.3E-2 mbar)
大傳感器工作溫度		150°C
大烘烤溫度?		200°C
檢測限值?		10 ppm
環境工作溫度		5 – 50°C
功率輸入		20 – 30 V (dc), 30W max
以太網通信接口		Standard: CAT5e Ethernet cable connection
標準 I/O		One analog input, two digital inputs, one relay, 24 V at 0.5 A
擴展 I/O（可選）		Four analog inputs, four analog outputs, four relays, 24 V at 0.5 A, 12 digital inputs or outputs

¹根據 1993 AVS 建議做法²Ar 處于 1E-4 Torr 下的 FC 信號³恒定 STP 時 Ar 處于 1E-4 Torr 下的 FC 信號⁴質量峰比率 2/40、4/40、20/40、28/40⁵處于 40 eV/200 μA 時⁶通過標準噪聲偏差除以在 4 秒保壓時間時所測傳感器的靈敏度計算出的 MDPP。⁷拆除電子元件后⁸處于 1 – 5 mTorr 流程壓強時⁹為確保 24 小時質量位置穩定性而激活的峰值鎖定。

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