舉報評價

EQ-10，EQ-10HR，EQ-10HP，EQ-10SXR 無電極Z-PinchTM EUV（極紫外）、SXR（軟X射線）光源系列

參考價	面議

參考價

面議

具體成交價以合同協議為準

促銷時間：

特價說明：

促銷詳細：

2020年01月08日至 2020年02月08日

特價促銷

模內澆口分離自動化，降低對人的依賴度；傳統的塑膠模具開模后產品與澆口相連，需二道工序進行人工剪切分離，模內熱切模具將澆口分離提前至開模前，消除后續工序，有利于生產自動化，降低對人的依賴。

的空間穩定性和穩定的可重復輸出功率！型號：EQ-10，EQ-10HR，EQ-10HP，EQ-10SXR

Energetiq光源是一款高亮度，高穩定、長壽命寬譜光源，采用革命性的光源技術——LDLS™激光驅動光源技術，這種光源從170nm通過可見光到近紅外2100nm范圍內亮度*、光譜平坦，壽命比傳統光源高一個數量級。

無電極Z-PinchTM EUV（極紫外）、SXR（軟X射線）光源系列

Energetiq*的技術基于Z-Pinch等離子體，但是*不使用電極而是通過電感將電流耦合進入等離子體中。Energetiq光源中的等離子體通過磁性遠離光源內壁，能夠將熱負載消除到極低并減少殘留碎屑。Energetiq的無電極Z-Pinch技術有的空間穩定性和穩定的可重復輸出功率。

主要特點

主要應用

選型指南


型號	EQ-10	EQ-10HR	EQ-10HP	EQ-10SXR
輸出功率（用氙氣在2π球面）	10W,13.5nm,±1%寬帶	-	20W,13.5nm,±1%寬帶	400mW,2.8nm,產生2-4nm軟X射線
脈沖重復率	1200 to 2000 Hz	10kHz	1200 to 2500 Hz	2kHz
尺寸	小等離子體尺寸
殘留情況	低殘留
工作壓強	一般70到100 mTorr	一般150 mTorr	一般70到150 mTorr	-
氙氣流速	一般5到15 sccm	一般100 sccm	一般5到15 sccm	-
低成本	氙氣流速低，將消耗成本降*低，占地面小
可靠性強	無電極Z-Pinch技術，符合CE標志和SEMI S2-0703
應用	EUV度量學耐EUV開發缺陷檢測 EUV顯微學	EUV光學元件測量 EUV計量學耐EUV開發缺陷檢測 EUV顯微學	EUV掩膜檢測 EUV度量學耐EUV開發 EUV顯微學	水窗顯微鏡細胞微光束探測