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SU5000 場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡熱場(chǎng)式

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場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡熱場(chǎng)式，創(chuàng)新的“EM Wizard”界面更加直觀，僅需要“點(diǎn)擊”即可得到完美的圖像；超前的電腦輔助技術(shù)將電鏡的操作與控制提升到一個(gè)新水平。

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SU5000 場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡熱場(chǎng)式

特色

高性能電子光學(xué)系統(tǒng)

  • 二次電子分辨率: 頂位二次電子探測(cè)器(2.0 nm at 1kV)＊
  • 高靈敏度: 高效PD-BSD, *的低加速電壓性能，低至100 V成像
  • 大束流(>200 nA): 便于高效微區(qū)分析
  •  
  • 性能優(yōu)異
  • 壓力可變: 具有優(yōu)異的低真空(10 -300 Pa)成像性能，配備高靈敏度低真空探測(cè)器(UVD)＊
  • 開倉(cāng)室快速簡(jiǎn)單換樣(大樣品尺寸: Φ 200 mm x 80 mmH)
  • 微區(qū)分析: EDS, WDS, EBSD等等

*：

選配附件



SU5000 場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡熱場(chǎng)式規(guī)格

項(xiàng)目內(nèi)容
分辨率1.2 nm @ 30 kV
3.0 nm @ 1 kV
2.0 nm @ 1 kV 減速模式*1
3.0 nm @ 15 kV 低真空模式*2
放大倍率10 - 600,000× (底片倍率), 18 - 1,000,000× (800 × 600 像素)
30 - 1,500,000× (1,280 × 960 像素)
電子光學(xué)系統(tǒng)電子槍ZrO /W 肖特基式電子槍
加速電壓0.5 - 30 kV (0.1 kV 步進(jìn))
著陸電壓減速模式: 0.1 - 2.0 kV ＊1
大束流> 200 nA
探測(cè)器低位二次電子探測(cè)器
低真空模式*2真空范圍: 10 - 300 Pa
馬達(dá)臺(tái)馬達(dá)臺(tái)控制5 - 軸自動(dòng) (優(yōu)中心)
可動(dòng)范圍X：0～100mm
Y：0～50mm
Z：3～65mm
T：-20～90°
R：360°
大樣品尺寸大直徑: 200 mm
大高度: 80 mm
選配探測(cè)器
  • 高分辨率頂位二次電子探測(cè)器＊1
  • 高靈敏度低真空探測(cè)器 (UVD)
  • 5分割半導(dǎo)體探測(cè)器 (PD-BSD)*3
  • 能譜儀 (EDS)
  • 波譜儀 (WDS)
  • 背散射電子衍射探測(cè)器 (EBSD)

 

*1：

減速功能（包含高分辨率頂位二次電子探測(cè)器）

*2：

低真空功能（包含5分割半導(dǎo)體探測(cè)器）

*3：

空壓機(jī)(本地采購(gòu))




應(yīng)用案例


樣品: 氧化鋅粉末
著陸電壓: 1 kV ; 倍率: 120,000x
低電壓下頂位二次電子探測(cè)器成像


樣品: PTFE
加速電壓: 3 kV ; 倍率: 13,000x
UVD探測(cè)器可在低加速電壓(3 kV)和低真空
(40 Pa) 下獲得高質(zhì)量圖像

似空科學(xué)儀器（上海）有限公司

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