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Hitachi的掃描電子顯微鏡 SU3500高畫質的鎢燈絲掃描電鏡, 圖象質量更進一步。通過高畫質提升掃描電鏡的分析能力和操作性, 凝聚日立先進科技“*”。
掃描電子顯微鏡 SU3500
SU3500鎢燈絲掃描電鏡具有實現了“3 kV加速電壓7 nm分辨率”的全新電子光學系統, 可實現實時立體成像的“實時立體觀察功能”＊1、以及更高檢測效率的 “UVD超高靈敏度可變壓力檢測器”＊1它為觀察和分析提出了嶄新的標準。
*1：
掃描電子顯微鏡 SU3500特點
*2：
和日立SEM S-3400N相比
*3：
根據觀察條件的不同，時間會有變動
*4：
自選
規格
| 項目 | 描述 | |
|---|---|---|
| 二次電子分辨率 | 3.0 nm(加速電壓=30 kV，WD=5 mm高真空模式) 7.0 nm(加速電壓=3 kV，WD=5 mm高真空模式) | |
| 背散射電子分辨率 | 4.0 nm(加速電壓=30 kV，WD=5 mm低真空模式) 10.0 nm(加速電壓=5 kV，WD=5 mm高真空模式) | |
| 放大倍率 | 5 - 300,000倍(底片倍率＊5） 7 - 800,000倍(顯示器顯示倍率＊6） | |
| 加速電壓 | 0.3～30kV | |
| 可變壓力范圍 | 6～650Pa | |
| 大樣品尺寸 | 直徑 200 mm | |
| 樣品臺 | X | 0～100mm |
| Y | 0～50mm | |
| Z | 5～65mm | |
| R | 360° | |
| T | -20～90° | |
| 可觀察區域 | 直徑 130 mm(旋轉并用) | |
| 大樣品高度 | 80mm（WD＝10mm） | |
| 馬達臺 | 5軸標配 | |
| 電子光學系統 | 電子槍 | 預對中的鎢燈絲 |
| 物鏡光闌 | 4孔可動光闌 | |
| 探檢測器 | 埃弗哈特 索恩利 二次電子探測器 高靈敏度半導體背散射電子檢測器 | |
| EDX分析 WD | 10 mm(取出角35°) | |
| 圖像顯示 | 操作系統 | Windows®7(有更改，恕不另行通知) |
| 圖像顯示模式 | 全屏模式(1,280 × 960 像素) 小屏模式(800 × 600 像素) 雙圖像顯示(800 × 600 像素) 四屏幕顯示(640 × 480像素) 信號混合模式 | |
| 排氣系統 | 操作 | 全自動排氣 |
| 渦輪分子泵 | 261升/秒 × 1 | |
| 機械泵 | 135 L/min.(162 L/min.，60Hz) × 1 | |
*5：
以127 mm × 95 mm(圖像尺寸4" × 5")的顯示尺寸規定倍率
*6：
以345 mm × 259 mm(像素1,280 × 960)的顯示尺寸規定倍率
觀察例
試料：樹脂填料(玻璃纖維)
加速電壓：1 kV
放大率：×1,000
試料：二氧化鈦顆粒
加速電壓：3 kV
放大倍率：×15,000 樣品未作導電性處理
樣品提供：由東北大學 垣花 眞人 様
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