立式球面激光干涉儀VT750/VT1000/VT1200是德國XONOX公司生產(chǎn)的4或6英寸球面激光干涉儀，采用立式測量結(jié)構(gòu)，更適合于車間現(xiàn)場測量使用。

XONOX VT系列立式球面激光干涉儀特點：

---高精密氣浮隔震系統(tǒng)，適合于光學(xué)加工車間現(xiàn)場檢測
---采用氣浮垂直移動導(dǎo)軌，移動快速準(zhǔn)確，*大移動范圍1200mm，直線度可達(dá)3um
---可選裝經(jīng)濟型的4寸干涉儀主機，配置靜態(tài)光圈測量分析軟件，代替?zhèn)鹘y(tǒng)的樣本檢測，方便快捷，DIN或ISO測量結(jié)果顯示。
---配置ZYGO Verifire XPZ 4寸或6寸干涉儀主機，ZYGO專業(yè)測量分析軟件，適合更優(yōu)異用戶使用。
---配置線性光柵尺，曲率半徑測量精度+/-3um；小曲率半徑測量裝置可選，測量精度+/-1um（+/-60mm測量范圍）
---配置XONOX 4+測量物鏡，*大測量口徑為130mm，曲率半徑測量范圍可達(dá)1150mm
---連接上電源與壓縮空氣就可以使用，無需額外配置

詳細(xì)技術(shù)參數(shù)：