SID4 UV-HR(紫外光)
基于相位的技術, 在190納米到400納米波段,SID4 UV-HR波前分析儀(在紫外光譜范圍內)具有超高的分辨率(250 x250)和*的靈敏度(0.5 nm RMS)。因此SID4 UV-HR是*適應光學組件描述(用于光刻、半導體)和表面檢測(鏡頭,晶片……)
主要特點
.超高分辨率 250×250
.高靈敏度 0.5nm RMS
.大型分析孔 8.0×8.0mm
.可以直接對光學器件表面進行測量
*用途
.紫外激光器:光束的測量和校正
.光學:紫外線光學(半導體)測試和表面測量
SID4 UV-HR的詳細規格
SID4 UV-HR | 單位 | 數據 |
波長范圍 | nm | 190-400 |
框口尺寸 | mm^2 | 8.0*8.0 |
空間解析度 | Um | 32 |
相位和強度抽樣 |
| 250*250 |
分辨率 | nmRMS | 0.5 |
精密度 | nmRMS | 10 |
采集率 | fps | >30 |
實時處理頻率 | fps | 1 |
規模(w*h*l) | mm | 95*105*84 |
重量 | g | 900 |
羽宸光電 UV wavefront analyzer _ Phasics.pdf
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