Cressington 108/108Auto離子濺射儀是用于電鏡樣品前處理,制作*高質(zhì)量的鍍膜儀系統(tǒng)
離子濺射儀主要優(yōu)勢功能:
自動的換氣與泄氣功能,可以得到*的膜厚,和良好的導(dǎo)電噴鍍效果。
通過高效低壓直流磁控頭進(jìn)行冷態(tài)精細(xì)的噴鍍過程,避免樣品表面受損。
操作容易快捷,可全自動或手動進(jìn)行噴鍍操作,控制的參數(shù)包括自動放氣以及氬氣換氣控制。
在自動模式下,可通過兩種方式進(jìn)行控制鍍膜過程??赏ㄟ^數(shù)字顯示器控制得到可重現(xiàn)的噴鍍效果。
可配備MTM-10高分辨膜厚監(jiān)控儀(選件)(分辨率優(yōu)于0.1nm,-99.9nm到+999.9nm)
數(shù)字化的噴鍍電流控制不受樣品室內(nèi)氬氣壓力影響,可得到*的鍍膜速率和很好的的鍍膜效果。
可使用多種金屬靶材:Au, Au/Pd,,Pt,,Pt/Pd,靶材更換快速方便。
離子濺射儀技術(shù)規(guī)格:
樣品倉尺寸: 120 x 120mm(高) (4.75 x 4.75"),高強度硼硅酸鹽玻璃
樣品臺:直徑63mm,可放置12個標(biāo)準(zhǔn)SEM樣品座,高度可在 60mm內(nèi)調(diào)節(jié)
濺鍍優(yōu)點:基于微處理器反饋控制,遠(yuǎn)程電流/電壓感應(yīng);提供真空安全聯(lián)鎖裝置,大180A,配有過流保護(hù)
濺射控制:微處理器控制,安全互鎖,可調(diào),大電流40mA,程序化數(shù)字控制
濺射頭:低電壓平面磁控管,靶材更換快速,環(huán)繞暗區(qū)護(hù)罩
模擬計量:真空 Atm - 0.01mb 電流: 0 - 200A
厚度監(jiān)測器: MTM-10高精度厚度監(jiān)測器(選配)
控制方式:自動氣體換氣和泄氣功能,自動處理排序,帶有“暫停”控制的數(shù)字定時器(0-300s),自動放氣
電源:200-240 VAC, 50/60Hz
功率:1000VA (包括鍍碳機(jī)和真空系統(tǒng))
氬氣: 純度優(yōu)于99.9%,壓力調(diào)節(jié)0.5-0.6 bar, 6mm連接軟管
備注:為保證銷售渠道正規(guī),配套方案*及統(tǒng)一的市場管理和售后服務(wù),英國cressington在各個國家都只設(shè)*代理,中國*總代為:溢鑫科創(chuàng)Yi Xin Technology,詳細(xì)信息請參考英國原廠信息。