miBot納米操縱儀，是當(dāng)今世界上小巧的商業(yè)化納米操縱系統(tǒng)，是在光學(xué)顯微鏡、掃描電鏡和FIB聚焦離子束顯微鏡上進(jìn)行微米和納米尺度研究和開發(fā)的通用操縱和測(cè)量工具。

其技術(shù)特點(diǎn)如下：
·             miBot移動(dòng)微機(jī)器人是Imina納米操縱系統(tǒng)的核心部件，采用革命性的系統(tǒng)設(shè)計(jì)。其移動(dòng)方式采用笛卡爾自然坐標(biāo)系統(tǒng)，操縱和控制直觀、靈活。
·             miBot移動(dòng)微機(jī)器人采用壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)，具有X/Y/Z/R四個(gè)自由度，移動(dòng)范圍達(dá)幾個(gè)厘米，但移動(dòng)精度可保持在納米量級(jí)。
·             miBot移動(dòng)微機(jī)器人不用螺絲固定，在光學(xué)顯微鏡樣品臺(tái)上、在SEM/FIB真空樣品室中安裝和移出都非常方便，可以在幾分鐘之內(nèi)完成。
·             miBot移動(dòng)微機(jī)器人具有很高的機(jī)械穩(wěn)定度和熱穩(wěn)定度，抗外界震動(dòng)*力強(qiáng)。
·             Imina提供整體解決方案。可根據(jù)不同的應(yīng)用要求，提供標(biāo)準(zhǔn)或定制的miBot移動(dòng)微機(jī)器人工作平臺(tái)，并提供相應(yīng)的測(cè)量和控制系統(tǒng)。
 
miBot納米操縱系統(tǒng)的主要應(yīng)用：
·             納米結(jié)構(gòu)的電學(xué)測(cè)量和表征
·             納米結(jié)構(gòu)的力學(xué)測(cè)量和表征
·             微米、納米尺度操縱
·             透射電鏡、掃描電鏡、拉曼和其它分析儀器的樣品制備
·             表面科學(xué)實(shí)驗(yàn)和研究
·             納米連接技術(shù)研發(fā)
·             原位納米尺度樣品定位
·             單細(xì)胞操縱
 
miBot納米操縱系統(tǒng)的主要技術(shù)參數(shù)：
Degrees of freedom   4 (2 translations and 2 rotations)
Dimensions         body: 20.5 x 20.5 x 13.6 mm³; arm: 8.3 mm (without micro-tool)
Weight             12 g (without micro-tool)
Operating range     X and Y: typ. 5 cm (limited by cable); R:± 180°; Z: 42° (arm rotation)
Scanning range     X: 440 nm; Y: 250 nm; Z: 780 nm
Speed              X and Y: < 2.5 mm/s; Z: < 150 mrad/s
Resolution          X: 1.0 nm; Y: 0.5 nm; Z: 1.5 nm
Forces and torques   X and Y: push: 0.3 N, hold: 0.2 N;
 Z: lift: 0.7 Nm (5 g), hold:    0.9 Nm (6 g)
Temperature range    273 K to 353 K
Lowest pressure      10^-7 mbar
Electrical probing     voltage range: ± 100 V; current: < 100 mA; signal resistance: typ. 3.5 Ohm