HCTZ-2S北京華測試驗儀器四探針測試儀器是運用四探針測量原理的多用途綜合測量設備。該儀器按照單晶硅物理測試方法國家標準并參考美國 A.S.T.M 標準而設計的，于測試半導體材料電阻率及方塊電阻（薄層電阻）的儀器。儀器由主機、測試臺、四探針探頭、計算機等部分組成，測量數據既可由主機直接顯示，亦可由計算機控制測試采集測試數據到計算機中加以分析，然后以表格，圖形方式統計分析顯示測試結果。

產品名稱：四探針測試儀

產品型號：HCTZ-2S

品牌：北京華測

一、產品介紹

HCTZ-2S四探針測試儀是運用四探針測量原理的多用途綜合測量設備。該儀器按照單晶硅物理測試方法國家標準并參考美國 A.S.T.M 標準而設計的，于測試半導體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的儀器。儀器由主機、測試臺、四探針探頭、計算機等部分組成，測量數據既可由主機直接顯示，亦可由計算機控制測試采集測試數據到計算機中加以分析，然后以表格，圖形方式統計分析顯示測試結果。

HCTZ-2S雙電測數字式四探針試驗儀是運用直線或方形四探針雙位測量。該儀器設計符合單晶硅物理測試方法國家標準并參考美國A.S.T.M.標準。利用電流探針、電壓探針的變換，采用兩次電測量，對數據進行雙電測分析，自動消除樣品幾何尺寸、邊界效應以及探針不等距和機械游移等因素對測量結果的影響，它與單電測直線或方形四探針相比，大大提高精確度，也可應用于產品檢測以及新材料電學性能研究等用途。

四探針軟件測試系統是一個運行在計算機上擁有友好測試界面的用戶程序，通過此測試程序輔助使用戶簡便地進行各項測試及獲得測試數據并對測試數據進行統計分析。

測試程序控制四探針試驗儀進行測量并采集測試數據，把采集到的數據在計算機中加以分析，然后把測試數據以表格，圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對采集到的數據在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把采集到的數據輸出到Excel中，讓用戶對數據進行各種數據分析。

二、四探針測試探頭

1、使用幾何尺寸十分精確的紅寶石軸承，量具精度的硬質合金探針，在寶石導孔內運動，持久耐磨，測量精度高、重復性好。

A.探頭間距1.00㎜

B.探針機械游率：±0.3%

C.探針直徑0.5㎜

D.探針材料：碳化鎢，常溫不生銹

E探針間及探針與其他部分之間的絕緣電阻大于109歐姆。

2、手動測試架

手動測試架探頭上下由手動操作，可以用作斷面單晶棒和硅片測試，探針頭可上下移動距離：120mm，測試臺面200x200(mm)。

三、產品應用

HCTZ-2S四探針試驗儀采用四探針雙電測量方法，適用于生產企業、高等院校、科研部門，是檢驗和分析導體材料和半導體材料在高溫、真空及氣氛條件下測量的一種重要的工具。本儀器配置各類測量裝置可以測試不同材料。液晶顯示，無需人工計算，并帶有溫度補償功能。采用AD芯片控制，恒流輸出，結構合理、質量輕便，配備10英寸觸摸屏，軟件可保存和打印數據，自動生成報表；本儀器可顯示電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度、電導率，配備不同的測試治具可以滿足不同材料的測試要求。測試治具可以根據產品及測試項目要求選購。

四、產品特點
    1.TVS瞬間抑制防護技術： 光耦與隔離無非是提高儀器的采集的抗干擾處理,對于閃絡放電過程中的浪涌對控制系統的防護起不到任何作用。華測獨立開 發的TVS瞬間抑制防護技術，將起到對控制系統的防護。
    2.本儀器的特點是主機配置三個數字表，在測量電阻率的同時，一塊數字表適時監測全程的電流變化，更及時掌控測量電流，一塊顯示2、3探針間的測量電壓，另一塊是顯示當前1、4探針測量使用的電壓，可以適當調整測量電壓避免材料耐壓不夠而電壓擊穿被測材料。

3.主機還提供精度為0.05%的恒流源，使測量電流高度穩定。本機配有恒流源開關，在測量某些薄層材料時，可免除探針尖與被測材料之間接觸火花的發生，更好地保護薄膜。采用低通濾波電流檢測技術以保證采集電流的有效值 ，以及電流抗干擾的屏蔽。
    4.探針采用碳化鎢硬質合金，硬度高、常溫不生銹，探針游移率在0.1～0.2%。保證了儀器測量電阻率的重復性和準確度。本機如加配測量軟件，測量硅片時可自動進行厚度、直徑、探針間距的修正，并計算、打印出硅片電阻率、徑向電阻率的大百分變化、平均百分變化、徑向電阻率不均勻度，給測量帶來很大方便。軟件平臺

5.HCTZ-800系統搭配Labview系統開發的hcpro軟件，具備彈性的自定義功能，可進行電壓、電流。

6.儀器通過USB轉RS232連接線與電腦連接，軟件可對四探針電阻率測量數據進行處理并修正測量數據，特定數據存儲格式，顯示變化曲線，兼容性：適用于通用電腦

7.測試系統的軟件平臺hcpro，采用labview系統開發，符合導體、半導體材料的各項測試需求，具備強大的穩定性和安全性，并具備斷電資料的保存功能，圖像資料可保存恢復，支持的標準。兼容XP、win7、win10系統。

五、軟件功能

具有試驗電壓設置功能；

可選擇試驗標準

可選擇是否自定義或自動試驗

截止條件：時間/電壓/電流;

語音提示:可選擇是否語音提示功能。

統計報告：可自定報表格式

可生出PDF、CSV、XLS文件格式

分析功能：可對測試的數據進行統計。大/小值、平均值等。

六、技術參數

測量范圍

電  阻：1×10-4~2×105Ω，     分辨率：1×10-5~1×102Ω

電阻率：1×10-4~2×105Ω-cm，  分辨率：1×10-5~2×102Ω-cm

方  阻：5×10-4~2×105Ω/□，  分辨率：5×10-5~1×102Ω/□

數字電壓表

量程：20.00mV~2000mV

誤差：±0.1%讀數±2字

數控恒流源

量程：0.1μA，1μA，10μA，100μA，1mA，10mA，100mA,1A

誤差：±0.1%讀數±2字

四探針探頭

碳化鎢探針：Ф0.5mm，直流探針間距1.0mm，探針壓力：0~2kg可調

薄膜方阻探針：Ф0.7mm，直流或方形探針間距2.0mm，探針壓力：0~0.6kg可調

七、注意事項

1、儀器操作前請您仔細閱讀使用說明書，規范操作

2、輕拿輕放，避免儀器震動，水平放置，垂直測量

3、儀器不使用時請切斷電源，連接線無需經常拔下，避免灰塵進入航空插引起短接等現象

4、探針筆測試結束，套好護套，避免人為斷針