產品用途：

產品特點：

● X、Y、Z軸0.5μm分辨率；
● 可選配白光納米檢測模組；
● Z軸粗調/微調旋鈕；
● 同軸表面光/底光測量；
● 內建偏光量測光學模塊；
● 可量測透明材質納米級高度差

技術參數：

規格型號

MTM-1510M

MTM-2010M

工作行程X、Y、Z軸

150*100*120（mm）

200*100*120（mm）

金屬臺尺寸

210*160（mm）

260*160（mm）

玻璃臺尺寸

354*228（mm）

404*228（mm）

光學尺分辨率

0.5μm

示值誤差

X、Y坐標≤（3+L/75）μm （L為測量長度，單位mm）

影像系統

彩色1/2"CCD攝像機；640*480像素；結合測量軟件

顯微鏡系統

目鏡：10倍

濾光片：紅，藍，綠，白

測量模式：反射，透射，偏光

5孔物鏡轉換器

物鏡放大倍率誤差

包括畸變在內的放大率誤差≤0.008%

總放大倍數

50X——500X

照明系統

透射照明光源：白光LED，亮度可調

同軸照明光源：鹵素燈，亮度可調

物鏡

倍率

5X

10X

20X

50X

工作距離（mm）

26.1

20.2

8.8

3.68

高度量測模塊（選配件）

光干涉高度量測模塊（M10-CA），高度量測分辨力0.5μm（選配）

倍率：10X，工作距離5mm，光學分辨力2μm

其它參數

外形尺寸（mm）

590*560*850

儀器重量（kg）

100

110

電源功耗

110V—220V 50/60Hz <60W

單層透明膜厚度測量模式

高精度測量模式

快速測量模式

厚度測量范圍

100nm-300nm

300nm-500nm

500nm-3μm

3μm-20μm

分辨力

5nm

5nm

7.5nm

0.1μm