等離子設備在半導體、電子材料干式清洗中的應用越來越廣泛，如硅晶片的光刻膠剝離、除去有機膜、界面活性化、微細研磨、除去碳化膜等領域，等離子產品都發揮了積極作用。
YAMATO的等離子表面處理設備除了半導體相關的清洗用途外，在其他各種領域都有廣泛應用。等離子處理對其他各種粘接，涂層，鍍膜等強度提高都有顯著效果。

雅馬拓作為一家有著130年歷史的干燥箱體供應商，首先把生產箱體的經驗應用在等離子產品上，使該產品有*的密閉性，可以保證低真空環境下進行等離子清洗。
采用日本*等離子發生裝置、調頻器，耐用有保障；電極不易損壞，腔體材質優良、設計合理，常規操作環境下不易被腐蝕。
售后有保障，核心部件供給穩定，全部使用日本*產品。
產品種類齊全，可以根據客戶特殊需求，非標定制。

PDC系列適用于研究開發的小型等離子清洗機。
使用等離子的表面處理裝置。著重于“使用簡單”的
臺式高性能型號，調取數據簡單，以電子材料為中
心，可對應多種用途。

用途

● CSP、BGA、COB基板的等離子清洗
● 去除有機膜和金屬氧化膜
● 印刷電路基板的干式清洗
● 界面活性處理
● LED封裝
特征
● DP模式（PDC510標配·PDC200/210選配）
● RIE模式
● 均勻性高的電極構造
● 操作簡單的觸摸屏控制器