該產(chǎn)品為定制產(chǎn)品，價(jià)格需電議，*
仁荷微電子科技有限公司主要從事氣體質(zhì)量流量計(jì)的研制、開(kāi)發(fā)、制造、銷售以及質(zhì)量流量器各種配件模具的設(shè)計(jì)、加工等相關(guān)的服務(wù)。所使用的技術(shù)全由我們*技術(shù)，具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)，且已取得了多項(xiàng)技術(shù)申請(qǐng)。產(chǎn)品包括超高質(zhì)量的氣體質(zhì)量流量控制儀器及測(cè)量?jī)x器、氣體工藝解決方案和服務(wù)支持方案，并且能夠提供高效優(yōu)質(zhì)的售后服務(wù)。
MF-200C主要技術(shù)指標(biāo)
編號(hào) 項(xiàng)目 MF-200C MF-200M
1 流量規(guī)格（N2） 10sccm～30slpm
2 準(zhǔn)確度 ±1％F.S(Full Scale)
3 重復(fù)精度 ±0.25％F.S（Full Scale）
4 響應(yīng)時(shí)間 ≤2sec（特別要求時(shí)：≤1sec）
5 耐壓 ≤90bar
6 工作環(huán)境溫度 0℃～50℃
7 輸入輸出信號(hào) 0～5V 0～5V or 4～20mA
8 供電 +15Vdc or +24Vdc 350mA
9 漏率 1×10atm.cc/sec
10 使用范圍 2～100％滿量程
用途和特點(diǎn)MF產(chǎn)品系列特點(diǎn)：
有很寬的工作壓力范圍，產(chǎn)品可以從真空直到10Mpa;本產(chǎn)品可以使用多種氣體介質(zhì)（包括一些腐蝕性氣體，如三氯化硼、*、氟化氫等等）；有很寬的流量范圍，產(chǎn)品zui小流量范圍可達(dá)0~10sccm，zui大流量范圍可達(dá)0~30slpm。流量控制范圍是滿量程的2~*（量程比為50:1）。
——耐高壓（zui大工作壓力可達(dá)100bar）
——響應(yīng)時(shí)間快≤1sec
——模擬輸入輸出接口（0-5Vdc或4-20mA可選）
——連接尺寸與其他標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量器兼容
——尺寸小
——連接方便，快拆快擰
——交貨周期短
——優(yōu)惠的價(jià)格性價(jià)比
——準(zhǔn)確率高
——穩(wěn)定的流量控制
——壓力范圍廣
氣體質(zhì)量流量控制器（MFC）在石化工業(yè)、生化、半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、醫(yī)藥、蔬果保鮮、加氣飲料、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的應(yīng)用。其典型的場(chǎng)合包括：電子工藝設(shè)備，如：氧化、CVD、MOCVD、擴(kuò)散、外延、等離子刻蝕、離子注入、濺射、以及微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、真空鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、氣相色譜儀及其他分析儀器。
結(jié)構(gòu)
氣體質(zhì)量流量計(jì)由流量傳感器（Sensor），分流器通道和流量放大電路等部件組成；在氣體質(zhì)量流量計(jì)的基礎(chǔ)上，再加上調(diào)節(jié)閥門和PID控制電路就構(gòu)成了氣體質(zhì)量流量控制器。
工作原理
•流量傳感器采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理氣體的質(zhì)量流量（無(wú)需溫度壓力補(bǔ)償）。
•將傳感器加熱電橋測(cè)得的流量信號(hào)送入放大器放大，放大后的流量檢測(cè)電壓與設(shè)定電壓進(jìn)行比較，再將差值信號(hào)放大后去控制調(diào)節(jié)閥門，閉環(huán)控制流過(guò)通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。
•分流器決定主通道的流量。
•與之配套的流量顯示儀上設(shè)置有穩(wěn)定電源，3位半數(shù)字電壓表，設(shè)定電位器，外設(shè)、內(nèi)設(shè)轉(zhuǎn)換和三位閥控開(kāi)關(guān)等。
•控制器輸出的流量栓檢測(cè)電壓與流過(guò)通道的質(zhì)量成正比，滿量程（F.S）流量檢測(cè)輸出電+5V。氣體質(zhì)量流量控制器的流量控制范圍是（2~100）%F.S（程比為50：1）
技術(shù)問(wèn)答：
1.什么情況下用質(zhì)量流量計(jì), 什么情況下用質(zhì)量流量控制器 ?
一般而言，僅對(duì)流量進(jìn)行計(jì)量或監(jiān)測(cè)時(shí)，用質(zhì)量流量計(jì)；需要對(duì)流量進(jìn)行控制時(shí)，用質(zhì)量流量控制器。某些測(cè)量場(chǎng)合，用二者皆可，如對(duì)毛細(xì)管流通能力的測(cè)量,當(dāng)定壓測(cè)流的時(shí)候, 用質(zhì)量流量計(jì); 當(dāng)定流測(cè)壓時(shí), 需要用質(zhì)量流量控制器。注意, 當(dāng)質(zhì)量流量控制器處于清洗狀態(tài)時(shí), 也可以當(dāng)質(zhì)量流量計(jì)使用, 只不過(guò)氣壓降要比普通質(zhì)量流量計(jì)大一些。
2. 質(zhì)量流量計(jì) / 質(zhì)量流量控制器的主要優(yōu)點(diǎn)是什么？
(1) 流量的測(cè)量和控制不因溫度或壓力的波動(dòng)而失準(zhǔn)。
對(duì)于多數(shù)流量測(cè)控系統(tǒng)而言，很難避免系統(tǒng)的壓力波動(dòng)及環(huán)境和介質(zhì)的溫度變化。對(duì)于普通的流量計(jì)，壓力及溫度的波動(dòng)將導(dǎo)致較大的誤差；對(duì)于質(zhì)量流量計(jì) / 質(zhì)量流量控制器，則一般可以忽略不計(jì)。
(2) 測(cè)量控制的自動(dòng)化
質(zhì)量流量計(jì) / 質(zhì)量流量控制器可以將流量測(cè)量值以輸出標(biāo)準(zhǔn)電信號(hào)輸出。這樣很容易實(shí)現(xiàn)對(duì)流量的數(shù)字顯示﹑累積流量自動(dòng)計(jì)量﹑數(shù)據(jù)自動(dòng)記錄﹑計(jì)算機(jī)管理等。對(duì)質(zhì)量流量控制器而言，還可以實(shí)現(xiàn)流量的自動(dòng)控制。通常, 模擬的MFC/MFM輸入輸出信號(hào)為0~+5V或4~20mA, 數(shù)字式MFC/MFM還配有RS232或RS485數(shù)字串行通訊口, 能非常方便地與計(jì)算機(jī)連接, 進(jìn)行自動(dòng)控制。
(3) 精確地定量控制流量
質(zhì)量流量控制器可以精確地控制氣體的給定量，這對(duì)很多工藝過(guò)程的流量控制﹑對(duì)于不同氣體的比例控制等特別有用。
(4) 適用范圍寬
有很寬的工作壓力范圍，我們的產(chǎn)品可以從真空直到10MPa; 可以適用于多種氣體介質(zhì)（包括一些腐蝕性氣體，如HCL）；有很寬的流量范圍，我們的產(chǎn)品zui小流量范圍可達(dá)0～5 sccm，zui大流量范圍可達(dá)0～200 slm。流量顯示的分辨率可達(dá)滿量程的0.1%, 流量控制范圍是滿量.
