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儀器網(wǎng) 展會報道】2024年10月23日至25日，第十四屆中國國際納米技術(shù)博覽會在蘇州舉辦。此次盛會重點聚焦納米新材料、微納制造、第三代
半導體、納米壓印、納米大健康、
能源與清潔技術(shù)、納米生物技術(shù)等產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域，再次吸引了全球納米技術(shù)領(lǐng)域的頂尖專家、學者和企業(yè)代表齊聚一堂，共同探討納米科技的最新進展和未來發(fā)展趨勢。
安徽澤攸科技有限公司成立于2016年，擁有安徽銅陵、北京、上海和東莞四家分公司，是一家具有完全自主知識產(chǎn)權(quán)的精密儀器高科技公司。公司專注于
掃描電鏡、原位測量系統(tǒng)、臺階儀、探針臺、電子束光刻機等精密設(shè)備的研究，填補了國家在高端精密儀器領(lǐng)域的諸多空白。
安徽澤攸科技有限公司(簡稱“澤攸科技”)作為參展企業(yè)之一，攜其自主研發(fā)的ZEM系列臺式掃描電子顯微鏡、JS100B臺階儀和干式液氦溫區(qū)探針臺亮相展會。
ZEM系列臺式掃描電子顯微鏡
ZEM系列臺式掃描電子顯微鏡
澤攸科技專注于桌面級掃描電鏡研發(fā)制造，ZEM 系列掃描電鏡具有體積小巧、移動便捷、維護方便、環(huán)境適應(yīng)能力強等優(yōu)點。澤攸ZEM察列掃描電鏡采用全中文交互系統(tǒng)，界面簡潔清晰，功能豐富全面，操作方便怏捷。澤攸 ZEM 系列掃描電鏡內(nèi)置光學攝像頭，進樣時拍攝導航圖片，鼠標點擊導航圖片任意位置，樣品臺即會實時連動導航，快速找到樣品對應(yīng)的區(qū)域。
澤攸ZEM系列掃描電鏡采用預(yù)對中鎢燈絲，自帶韋氏帽，燈絲已做好預(yù)對中，并已發(fā)射驗證，降低燈絲更換難度。澤攸ZEM系列掃描電鏡提供兩軸、三軸、五軸樣品臺，可實現(xiàn)多個軸的運動和組合，靈活性高，為測試樣品提供更為精準的位置坐標，方便精確的測定樣品。深攸ZEM系列掃描電讓可造配低真空模式，可在1-60Pa自由切換。對于不導電樣品可不噴金快速檢測，避免噴金對部分樣品表面形貌，能譜(EDS)測試的影響與干擾。
JS100B臺階儀
JS100B臺階儀
國產(chǎn)半自動臺階儀JS100B/200B/300B，擁有高精度、高分解能力，搭配一體花崗巖結(jié)構(gòu)，提供穩(wěn)定、可靠的重復性測量。JS100B提供兩個彩色攝像頭對樣品和針尖同時成像，可無畸變的觀察樣品區(qū)，方便定位特征區(qū)域，同時探針掃描時可實時觀察掃描區(qū)域。
JS100B臺階儀量測精確、功能豐富、一體式集成、模塊化設(shè)計、售后便捷、極高性價比，應(yīng)用于刻蝕、沉積和薄膜等厚度測量；薄膜多晶硅等粗糙度、翹曲度等材料表面參數(shù)測量；各式薄膜等應(yīng)力測量；3D掃描成像。
干式液氦溫區(qū)探針臺
干式液氦溫區(qū)探針臺
干式液氦溫區(qū)探針臺真空度優(yōu)于6×10-4 Pa，降溫后優(yōu)于6×10-5 Pa。探針臺留有2個用戶法蘭接口(KF40可接入氣體或者額外的電纜)、標配6個探針臂，調(diào)節(jié)范圍110mm*50mm*30mm，精度優(yōu)于10um。每個探針臂配一根Triax三同軸低漏電線纜及探針，樣品臺底座配備額外一根Triax三同軸低漏電線纜。
干式液氦溫區(qū)探針臺的顯微鏡模塊配備連續(xù)變倍單筒顯微鏡，光學放大倍率為0.5X~3. 75X(使用0. 75X附加物鏡時)，視頻放大倍率約700倍，可選2X附加物鏡，分辨率優(yōu)于2um。配備全高清數(shù)字攝像頭，帶同軸照明和環(huán)形照明，帶機械調(diào)焦和光學調(diào)焦；變溫樣品臺直徑標配50mm，可選配150mm。變溫范圍為6K~400K，控溫穩(wěn)定性優(yōu)于±0.01 K；可選配接入光纖，可將一根或幾根電學探針替換為光纖；系統(tǒng)直流漏電低于1pA；產(chǎn)品含進口分子泵機組、全量程真空規(guī)和智能溫控儀。
此次展會不僅展示了澤攸科技在納米技術(shù)領(lǐng)域的最新成果，也為公司與行業(yè)內(nèi)其他企業(yè)和專家的合作提供了良好的契機。在展會期間，澤攸科技的展位吸引了眾多行業(yè)專家和企業(yè)的參觀和交流。澤攸科技將繼續(xù)致力于高端科學儀器裝備的研發(fā)和生產(chǎn)，為科研和生產(chǎn)提供更加先進的工具和設(shè)備，為技術(shù)創(chuàng)新和產(chǎn)業(yè)發(fā)展貢獻更多力量。
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